8インチ電動XYステージとオートフォーカス機能を搭載！正確に移動制御し測定エラーを防止
『TOMOS-80XY』は、あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、 MEMS、半導体ウェハなどの表裏パターンやアライメントマークのずれを 自動測定できる両面顕微鏡システムです。 円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを自動検出し、 中心座標同士のずれを測定。XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数箇所を自動測定します。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載しており、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【ソフト機能(抜粋)】 ■表裏光軸補正 ■表裏レンズ倍率補正 ■カメラ取付θずれ補正 ■表裏位置ずれ自動計測 ■電動ステージ制御、マップ移動制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■鏡筒：2個(正立、倒立) ■対物レンズ：2本(5、10、20、50倍から選択) ■オートフォーカス機能：Zストローク20mm ■電動XYステージ可能範囲：200mm×200mm ■照明：2個、ソフト制御、白色LED ■カメラ：2個(320万画素Color/Mono) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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当社は「見る・視る・観る・診る」の総合ソリューションカンパニーです。 新しい技術と大胆な発想で実現する映像・光学機器の開発製造から システム構築まで行っております。 業務用のデジタルカメラおよび映像関連システムの開発・製造・販売は 当社にお任せください。