超高感度DLTS バルク内欠陥・界面準位測定装置
不良及び結晶欠陥の解析に有効!幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備
『DLS-83D/1000』は、温度、周波数スキャン、C-V特性等の測定が可能な バルク内欠陥・界面準位測定装置です。 「DLS-1000」は、10^8cm3レベルのバルク内欠陥、界面準位の高感度な 測定に対応。ライブラリーを標準装備しておりますので解析が容易に行えます。 高感度アナログ/デジタル(測定はアナログ、データ処理はデジタル) ロックイン平均法を採用したユニークなシステムで、且つオペレーター フレンドリーなソフトを装備しています。 【特長】 ■高感度な汚染検出が可能(2x10^8atoms/cm3) ■幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備 ■温度、周波数スキャン、C-V特性等の測定が可能 ■世界で100台以上の豊富な納入実績 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:日本セミラボ株式会社 新横浜本社
- 価格:応相談