不良及び結晶欠陥の解析に有効！幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備
『DLS-83D/1000』は、温度、周波数スキャン、C-V特性等の測定が可能な バルク内欠陥・界面準位測定装置です。 「DLS-1000」は、10^8cm3レベルのバルク内欠陥、界面準位の高感度な 測定に対応。ライブラリーを標準装備しておりますので解析が容易に行えます。 高感度アナログ／デジタル（測定はアナログ、データ処理はデジタル） ロックイン平均法を採用したユニークなシステムで、且つオペレーター フレンドリーなソフトを装備しています。 【特長】 ■高感度な汚染検出が可能（2x10^8atoms/cm3） ■幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備 ■温度、周波数スキャン、C-V特性等の測定が可能 ■世界で100台以上の豊富な納入実績 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■簡単に深さ方向のプロファイル、トラップの分布状態、元素及び欠陥の特定ができる ■不良及び結晶欠陥の解析に有効 ■測定結果をライブラリーにある汚染物質のDLTS信号の羅列と比較することで、 容易に汚染物質の特定が可能 ■高感度アナログ／デジタルロックイン平均法を採用したユニークなシステム ■オペレーターフレンドリーなソフトを装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
【主な測定・評価項目（一部）】 ■捕獲断面積測定 ■電界依存性測定 ■トラップ深さ測定 ■MOS測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
Semilabは、世界の最先端技術の研究、製造をサポートする総合測定装置メーカーです。 半導体ウェハーからデバイスの検査に、非接触CV測定装置、ライフタイム測定装置、分光エリプソメーター、フォトルミネッセンス、DLTSシステム、シート抵抗測定装置、ナノインデンター、AFMなどを取り扱いしています。 装置の仕様や価格などお気軽にお問合せ下さい。