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ストローク全域の位置決め精度を保証！高分解能と高速移動の両立が可能
『TX…M/CTX…M』は、各部精度を徹底的に追求し、エアステージに迫る 位置決め精度を実現した高精密位置決めテーブルです。 エア供給装置などは不要なので、システム構成がシンプルとなり、 省スペースや装置コストの削減が可能。 リニアエンコーダは、アブソリュート型とインクリメンタル型の 選択ができます。 【特長】 ■転がり案内方式 ■超高精度リニアエンコーダの搭載 ■高い位置決め精度と分解能を実現 ■アブソリュート型リニアエンコーダの選択が可能 ■ローラタイプ直動案内機器の採用で高い走行性能を実現 ■シンプルなシステム構成が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクト＆高剛性！超小型ボディの位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ（予圧品）を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト＆高剛性 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多様なニーズにお応えする豊富なバリエーション！超高精密位置決めを可能にする製品スペック
『TX…M／CTX…M』は、フルクローズドループ制御による高精度な 位置決め制御が行える、リニアエンコーダ付きの指定ができる 高精密位置決めテーブルです。 新たにアブソリュート型リニアエンコーダを追加し、お客様の装置に適した リニアエンコーダを選択可能。 また、充実したサイズバリエーションとストローク長さの中から、用途に 応じた高精密位置決めテーブルも選択いただけます。 【特長】 ■アブソリュート型リニアエンコーダを選択可能 ■サイズバリエーションを各種ご用意 ■原点復帰が不要 ■高分解能と高速移動を両立 ■究極の走行性能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
薄い！厚さ25mmの高真空対応位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 ストローク200mmまでは最薄25mmで、狭く限られた場所でも使用 できます。 また当社では、自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供することができます。 【特長】 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■並べて配置など複数設置に最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フルクローズドループ制御を構成し、ストローク全域の位置決め精度を保証！
『TX-M/CTX-M』は、高精度・高剛性な精密位置決めテーブル LHをベースに、転がり案内CルーブリニアローラウェイスーパーXを 組み込み、各部精度を徹底的に追求し、エアステージに迫る 位置決め精度を実現した位置決めテーブルです。 リニアエンコーダは、アブソリュート型とインクリメンタル型の選択が可能。 アブソリュート型は原点復帰が不要で高分解能と高速移動の両立ができます。 【特長】 ■転がり案内方式の高精度テーブル ■高い位置決め精度と分解能を実現 ■高い走行性能を実現 ■アブソリュート型リニアエンコーダの選択が可能 ■シンプルなシステム構成が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
