薄い！厚さ25mmの高真空対応位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 ストローク200mmまでは最薄25mmで、狭く限られた場所でも使用 できます。 また当社では、自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供することができます。 【特長】 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■並べて配置など複数設置に最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【主要仕様（抜粋）】 ■外形サイズ：W100×L266×H25[mm] ■テーブルサイズ：100×100[mm] ■移動量：100[mm] ■駆動：5相ステッピングモータ ■ボールねじ：Φ6mm リード1mm ■ガイド：リニアガイド ■質量：1.4［kg］ ■主材質：アルミ合金 ■表面処理：特殊Niめっき ■耐荷重：2.0[kg] ■理論分解能：2[μm] ■繰り返し位置決め精度：5[μm] ■ロストモーション：10[μm] ■真直度(高さ変動)：15[μm] ■ヨーイング・ピッチング：20[arcsec] ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
〜当社は”ものづくり”にこだわり、自社の技術力を養い向上 それを活用し、また専門分野・得意分野を持った企業間を結び、 新たなものを創造していくことを目的に活動しています〜