低アウトガスグリース - メーカー・企業と製品の一覧

極低アウトガスグリース『BARRIERTA BFV 402』

高真空下でも蒸発が少なく、歩留まり改善に貢献。真空ポンプ、エッチング装置、ウェーハ搬送ロボットなどの用途に【無料サンプルあり】

半導体製造における高温・高真空環境下では、グリース由来のアウトガスや コンタミがウェーハ汚染の要因となり、歩留まりを悪化させることがあります。 近年、半導体の微細化などによってグリースの使用環境が厳しくなる中、 アウトガスやコンタミへの対応の必要性は高まっています。 当社では、ユーザーの皆様の要求に応えるため、 極低アウトガスグリース「BARRIERTA BFV 402」を新たに開発しましたので、ご紹介いたします。 【特長】 ■アウトガス特性の改善により安定した真空環境を維持（極低アウトガス） ■基油の飛散による汚染を抑制（低発塵） ■金属元素(不純物)非含有によりデバイス特性や加工形状の不良を低減（メタルコンタミフリー） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 高性能なグリースをお試しいただけるよう【無料サンプル】をご提供しておりますので、 お求めの方は、関連リンクをご確認下さい。