低温冷凍機
超低振動の小型冷凍機 (90～170 K)
本製品は、低温冷凍機はコンパクトで、高い冷却性能を持っています。コールドヘッドの振動は非常に小さく、振動を嫌うシステムの冷却に最適です。また、コールドヘッドは真空チャンバーに直接接続できるよう設計されており、真空システムへの導入も容易です。冷却にはクローズドループシステムを採用することで、メンテナンスフリーで使用することができます。 弊社では、本製品を使用した特注システムの製作も可能です。
- 企業：株式会社東京インスツルメンツ
- 価格：応相談
低温冷凍機 - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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HFC混合冷媒二元式超低温冷凍機『マック・クライオ』
真空ポンプとして開発！冷凍機吐出ガスの高温+50℃を利用して瞬時に+25℃のパネルに加熱が可能
『マック・クライオ』は、真空補助ポンプとして必需なHFC混合冷媒 二元式超低温冷凍機です。 一元式混合冷媒冷凍機システムを利用して-70℃の冷却器を内蔵。 独立した冷凍回路を持つ二元目の冷凍機は、一元式混合冷媒冷凍機の 冷却能力によって自由に起動が可能で、-125℃の超低温クライオパネルを 瞬時に発揮できます。（コールドトラップによる排気作用） 【特長】 ■生産性を30％向上 ■高品質の成膜を保証 ■高温成膜装置に好適 ■液体窒素トラップは不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社マック
- 価格：応相談
