【高周波】石英振動体型洗浄機 W-357-1MQG-SKC
石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。 低ダメージ、高クリーン度を実現しました。
■石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄 薬液を半導体ウェーハに浸し、石英ガラスを通じて超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。 ■半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄 薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。 ■振動子冷却機能付き 振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能です。また、冷却することで急激な温度変化がなく長寿命です。
- 企業：本多電子株式会社 産業機器事業部
- 価格：100万円 ~ 500万円
