超高感度 質量分析装置 WATMASS－MPH DAシステム
【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの封止デバイス内の超微量リーク検査に！
『WATMASS－MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の 技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。 弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、 リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！ ★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析（ガス分析）も承ります★ 【特長】 ■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置 ■産総研殿の測定精度評価を取得 ■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能 ■各種受託質量分析も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：東京電子株式会社
- 価格：応相談
