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制御計測ユニット×コフロック株式会社 - 企業1社の製品一覧

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ハンディ質量流量制御/計測ユニット『FLOW COMPO』

N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体が対象!質量流量制御/計測ユニットのご紹介

『FLOW COMPO』は、リードアウトユニット「CR-400B」とマスフロー コントローラ/メータをドッキングしたハンディ質量流量制御/計測ユニットです。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM~20SLM となっております。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談ください。 【標準仕様(抜粋)】 <FCC4000-3660> ■搭載MFC/MFM:3660(MFC) ■フルスケール流量(N2換算):10SCCM~20SLM ■精度:±1%F.S. (25℃) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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