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【事例紹介】RTP（ラピッドサーマルプロセス）
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。 かつての半導体熱処理は、ファーネス（断熱）が一般的だったが ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。 また、次世代半導体においては、熱流束技術として フラッシュランプアニールが主流となっています。 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』
ウシオ社の新エネルギー技術開発用光源 太陽電池製造用加熱光源の実用例のご紹介です 【特徴】 ○ハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は 焼成炉、CVD、スパッタリングなどの装置において標準熱源として採用 ○半導体市場で培った高精度な、熱処理性能、FPD市場において 長年実績を積んだ長尺ヒータは 各種太陽電池製造プロセスで即戦力として採用 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
【事例紹介】液体の保温・加熱
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です 【特徴】 ○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄 液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される 純水や薬液を保温・加湿することが可能 ○高品質の石英ガラスで2重に覆われた ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく 加熱効率95％以上と高効率に加熱することが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
