厚さ測定器(定盤) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

厚さ測定器 Product List

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φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。厚さ測定は、光学センサを用い、ウェーハ単体は挟み込み測定、定盤貼付けウェーハは片側測定にて行います。それぞれの測定を行うため、測定ステージは2種類用意しセンサを付け替えて測定します。

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