非接触 膜厚測定装置 FTMD
非接触で不織布などの繊維の膜厚測定 〜サンプル測定実施中〜
透過光を利用してナノファイバー不織布の厚みムラを検出 ○非接触リアルタイム高速計測 ○繊維の表面形状を3D表示 ○ターゲットに即したファイバセンサを交換可能
- 企業:九州計測器株式会社
- 価格:100万円 ~ 500万円
更新日: 集計期間:2026年05月27日~2026年06月23日
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非接触で不織布などの繊維の膜厚測定 〜サンプル測定実施中〜
透過光を利用してナノファイバー不織布の厚みムラを検出 ○非接触リアルタイム高速計測 ○繊維の表面形状を3D表示 ○ターゲットに即したファイバセンサを交換可能
フィルムや板状の膜厚を非破壊的にライン測定
まず、各装置構成部がシンプルにできており、各御客様のニーズに対し、カスタマイズしたパッケージングでご紹介が可能であり、コストダウンにも最適かと思われます。測定算出方法もFFT法という信頼性の高い方法を採用しておりますので安心してデータ収集できます。
研究用途のみならず生産現場での使用を見越した膜厚測定器
『膜厚測定器』は、オーテックスが取り扱うTHETA METRISIS社の製品です。 白色反射分光によるナノレンジからミクロンレンジの膜厚測定システムで、 持ち運び便利なポータブルタイプから大型の据置きタイプまで 用途にあわせ多くの機種が選択できます。 高温化、液中、顕微鏡取り付けタイプ、ガスチャンバー、フローセル等 測定に必要とされる数多くのモジュールをご用意。 研究用途のみならず、生産現場での使用を見越した製品です。 【特長】 ■白色反射分光によるナノレンジからミクロンレンジの膜厚測定システム ■用途にあわせ多くの機種から選択可能 ■数多くのモジュールをご用意 ■研究用途や生産現場で使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
FMPシリーズ上位機種の高性能なハンディー型膜厚計、広範な種類の評価や統計処理機能、画面にはタッチパネル搭載
『DUALSCOPE FMP100』は、品質管理において優れた性能を発揮できる 携帯タイプの膜厚測定器です。 当製品のキーパッドつき高解像度タッチスクリーンは、スタイラスや指で 操作ができます。 また、広範囲の高性能プローブが使用でき、高品位アプリケーション用の 特殊プローブをはじめ、様々な種類が使用できます。 【特長】 ■品質管理において優れた性能を発揮 ■キーパッドつき高解像度タッチスクリーンを搭載 ■数千種類の測定アプリケーションのキャリブレーション・パラメターを記憶可能 ■FMP150:3種類(渦電流式・電磁式磁気式ホール効果)の測定方式が1台で使用できる ■広範囲の高性能プローブが使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ハンディータイプ、卓上型などの膜厚測定と材料試験機を多数掲載!
『フィッシャージャパン 製品カタログ』は、膜厚測定器、素材分析器、 材料試験器の販売・保守サービス等を行う、 株式会社フィッシャー・インストルメンツの製品カタログです。 電磁式、渦電流式で非破壊方式で膜厚を測定するハンディタイプの 「DELTASCOPE DMP10/DMP30」や、卓上型のマルチ測定システム 「FISCHERSCOPE MMS PC2」などを掲載しています。 【掲載内容】 ■知識・能力・経験、それらに基づいた信頼 ■膜厚測定と材料試験 ■膜厚測定と材料分析 ■材料試験 ■微小硬さ測定 ほか ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度かつ高い検出感度!現場で素早く非破壊で検査します【携帯可能な蛍光X線式の膜厚測定・素材分析機器】
『ハンドヘルド型蛍光X線式測定器XAN500』は、携帯可能な蛍光X線式の 膜厚測定および素材分析機器です。 シリコンドリフト検出器搭載により、高精度かつ高い検出感度を実現。 品質管理、受け入れ検査、工程管理に適した装置で、小型部品や複雑な 形状の測定にも対応できます。 高精度で長期安定性がFISCHERSCOPE X-RAYシステムの大きな特長で、 キャリブレーションの頻度が少なく済むため、時間と手間が削減できます。 【特長】 ■現場に携帯し測定できる ■シリコンドリフト検出器搭載 ■高精度かつ高い検出感度 ■小型部品や複雑な形状の測定にも対応 ■時間と手間が削減できる 対象例:貴金属・金属・メッキ関連 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
集光レンズタイプの蛍光X線式測定器!回路基板や微細構造部分の分析・測定に特別設計されたモデル!
『FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μ PCB』は、大型プリント回路基板と 部品の微細構造部分の素材分析および膜厚測定に特別設計された 集光レンズタイプ蛍光X線式測定装置です。 革新的なポリキャピラリ―レンズの採用により、非常に小さな 測定スポットにおいても大きな励起強度を得ることが可能。 また、フィッシャーのFP法により校正なしで単体サンプルや多層膜の 分析ができます。 【特長】 ■大型プリント回路基板と部品の微細構造部分の素材分析・膜厚測定 ■ポリキャピラリ―レンズの採用 ■非常に小さな測定スポットにおいても大きな励起強度を得ることが可能 ■校正なしで単体サンプルや多層膜の分析ができる ■ユーザフレンドリーな卓上型 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
様々なポイントで自動化可能! 銅の膜厚を瞬時に測定可能・高度な統計処理で生産効率UPの可能性がここにある!
銅めっき膜厚の全数検査、全自動測定はいかがですか? ハンディタイプ銅めっき膜厚測定機 「キャビダーム」は、めっき工程、最終検査工程、入荷検査など、様々なポイントで自動化が可能です。 【特徴】 ○測定は、瞬時に行われる ○専用プローブは基板にキズを付けることはない ○PCへUSBケーブルを接続し高度な統計処理を行うことが可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
IR反射率測定ヘッドを使用可能!高スループットのエピ膜厚測定を実現した測定装置
『EIR-2500』は、FTIR機能と共に、赤外分光反射率計を備えた独自の エピ膜厚測定装置です。 高スループットのエピ膜厚測定を実現し、適用されるSEMI/CE規格に完全に 準拠しています。 また、EIR製品シリーズは、高性能で信頼性の高い電子機器に基づいており、 装置の稼働時間を向上してメンテナンスの必要性を減らします。 【特長】 ■ウェハーサイズ:4~12インチ ■Si, SOI, SiC, SiGe, III Vなど ■FTIR機能 ■エピ膜厚を高精度測定 ■遷移領域の膜厚測定 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
試料調整が不要!成膜された試料をそのまま測定できます
『オートクレーター』は、回転する鋼球で試料を研磨し、その研磨痕を 光学顕微鏡などにより測長することで、膜厚を測定する試験機です。 断面作成のための、切断・研磨・樹脂包埋などの試料調整は不要です。 成膜された試料をそのまま測定できます。 また薬品処理などにより、膜の組成の変化を色調の違いとして 変化させる事により、各層毎の膜厚を評価できます。 【特長】 ■試料調整が不要 ■成膜された試料をそのまま測定 ■多層膜の評価が可能 ■純国産 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非破壊かつ非接触でコーティング厚さを測定します!
測定原理は熱反射に類似しており、光を対象物に照射させ、熱の伝わる 伝搬時間をコーティング厚さへ変換します。 特定の素材や材料に左右されず測定が可能で、紛体・液体も問わず測定が 可能です。
高い精度・抜群の安定性を保持!様々な分野で使用され、絶大な信頼を得ています
当社では、ヘルムート・フィッシャー社製『膜厚測定器』を取扱っております。 正確だから、塗料のムダ使いを抑制。金、銀などの高価な材料の正しい純度を 計測できます。 非接触かつ応答速度も速く、連続測定が可能です。 【特長】 ■正確だから「塗料のムダ使い」を抑制 ■金、銀 などの「高価な材料」の正しい純度を計測できる ■非接触かつ応答速度も速く、連続測定が可能 ■使いやすく誰にでも、測定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面検査を実現!
半導体の研究開発や生産現場において、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定できる装置です。 独自の分光干渉法と新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定することが可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
R&D分野において利用出来る特長を兼ね備えた光干渉式膜厚測定装置!
『TohoSpec3100』は、ナノメトリクス社より技術移管された 光干渉式膜厚測定装置です。 多数の納入実績を誇る業界標準機で、測定再精度2Å以下を実現、 リニアアレー受光素子を採用。 高信頼性、高精度、高速をコンセプトとしており、多層膜同時測定や 光学定数(n,k)測定に利用可能です。 【特長】 ■スペクトル解析ソフトにより、多層膜(通常3層まで)の同時測定, 光学定数(n,k)の測定が可能 ■各種膜特性に適合したパラメータの設定ができ、 より豊富な各種膜構造の膜厚測定が可能 ■プロセスに適合した特殊膜測定用のプログラム設定が容易に実現可能 ■米国マイクロソフト社のWindows(R)7対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コーティング工程における膜厚測定の問題を一掃!
メッキ厚測定の現場ニーズに応える高性能膜厚検査装置
USB簡易型膜厚測定装置
従来の接触式では測定不可能であった300nm〜30μm(100μm)までの光学膜厚を再現性良く測定します。
単層から多層までインラインで安定測定 今まで見れなかった<厚みムラ>が分かるフィルム厚み測定器 誕生
■今まで見れなかった”厚みムラ”を見える化 ■多層フィルム各層の厚み測定を実現 ■粘着層も安定測定
裏面や内層材の影響を受けずに銅の膜厚を測定
【SR-SCOPE DMP30】は、プリント回路基板上の銅の厚さを迅速かつ高精度に非破壊で、基板裏面にある銅層の影響を受けずに測定することができる電気抵抗式の膜厚測定器。堅牢で近代的な新しいデザイン、デジタルプローブと新しいアプリケーションソフトウェアにより、プリント基板表面の銅の膜厚測定に好適。保護等級IP64のアルミ製の筐体、落下などから筐体を保護するソフトバンパー、強化ガラスの液晶ディスプレイを搭載した頑丈な筐体を採用。また、光・音・振動による上下限値設定時のフィードバック通知機能、交換可能なリチウムイオンバッテリー、USBまたはBluetoothによるPC通信を可能としてデータ転送や測定値評価など、数多くの機能を搭載。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合せください。
お手持ちのPCに接続可能!12μm~16mmの厚さをインラインで簡単測定!
非接触多層膜厚測定器『OPTIGAUGE』は、12μm〜16mmまでの膜厚を 「インライン」&「±0.1μmの高精度」&「1秒間に200測定の高速*」で 測れる厚み計です。*標準は50計測 性能はそのままに、導入しやすい低価格帯の2機種を発売開始しました。 □多層膜厚測定器『OPTIGAUGE 2』□ 【特長】 ○新仕様でお手持ちのPCに接続可能!扱いの簡易化を実現 ○1秒間に最大200測定可能(標準 50測定/秒) ○インラインでリアルタイムに厚み測定しロス軽減 ○多層厚みを層順に厚み表示可能 ○精度±0.1μm、繰り返し性0.1μmσで確実に測定 ○1台に8点までプローブを増設できて効率的 ○光ファイバーケーブルは1000mまで延長可能 ○長寿命光源を採用し、メンテナンスが不要 など、スピーディな製品開発・品質管理を実現します。 そこまでの計測精度は求めない!という方は ⇒ 機能を制限した、より導入しやすい入門モデルもご用意しています。 多層膜厚測定器『OPTIGAUGE LT』をご覧ください。 ※製品詳細はカタログダウンロードよりご覧頂けます。
金属コイル、金属コンテナ上の透明膜、不透明膜、ウェット膜、ドライ膜の厚みを非接触で測定します。
・インライン対応(ばたつきがあっても問題なし) ・非接触で塗料、コーティング剤の厚みを測定 (測定可能膜厚:0.2~250um) ・ウェット膜、ドライ膜の両方を測定可能 ・塗料/コーティング剤のコストを削減可能 ・生産スループットの向上
最大7層までの膜厚を瞬時に非接触で自動的に測定
ロボットによる省人化、テラヘルツを利用した多層膜の同時測定により測定工程の効率が上がります。 リアルタイムで品質評価が可能になり、異常の早期発見やムダの削減にも繋がります。 テラヘルツ波と独自アルゴリズムを駆使した非接触型の多層膜測定技術であり、塗装工程における品質管理に革新をもたらします。複数に及ぶ塗装またはコーティングの膜厚を非破壊・非接触で測定することができます。±1μmという高い精度を実現し、ロボットアームにより自動設備と統合することで測定効率を高めます。様々な下地に対応し、曲面も測定可能です。
ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置
『LF-1000』は、分光器と光干渉式膜厚解析ソフトを搭載し、各種パラメータの 設定をする事により膜厚測定を可能とした非接触式自動膜厚測定装置です。 本解析ソフトは薄膜の表面及び基盤との界面からの干渉波形を解析することにより、 非接触で、透明もしくは半透明の薄膜の膜厚、屈折率及び吸収係数を簡単に 自動測定及びマッピング処理する事が出来ます。 【特長】 ■ウェハ・ガラス基板だけでなく、その他の鏡面基板上の膜厚測定が可能 ■膜の光学定数を設定する事で、各種の膜厚測定が測定可能 ■薄膜酸化膜、SOI、EG膜、カラーフィルター等の測定に優れる ■標準として3・4・5・6・8・12インチウェハに対応したオートステージ ■ローダ仕様にもオプションで対応可能(カセット・FOUP、ポート数にも応相談) ■測定ヘッド仕様よって、薄膜から厚膜の膜厚測定に対応 ■GEM通信はオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
500μm厚までの厚膜レジストやポリイミドを非接触で高精度測定。
自動レジスト膜厚測定装置 KV-300/KF-10は従来安定した膜厚測定が困難とされていた超厚膜レジストを非接触で高精度な測定ができます。標準搭載の自動マッピング機能は、高精度自動ステージにより基板の面内膜厚分布をスピーディに表示します。KV-300は、自動R-θステージ採用により、300mm基板に対応しながらもフットプリントを最小限に抑えた設計になっています。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
多数の納入実績を誇る業界標準機!リニアアレー受光素子を採用し高速測定を実現
『Model3100』は、受光素子にリニアアレー素子を採用し、 高速測定を実現した光干渉式膜厚測定装置です。 スペクトル解析ソフトを標準搭載することにより、多層膜(通常3層まで)の 同時測定および光学定数(n,k)の測定が可能。 各種膜特性に適合したきめ細かなパラメータの設定ができ、より豊富な 各種膜構造の膜厚測定ができます。 【特長】 ■高感度高分解能ヘッド(オプション)にて酸化膜換算で70μmまで測定可能 ■100倍レンズ(φ0.75μmの微小スポット)も使用可能 ■プロセスに適合した特殊膜測定用のプログラム設定が容易に実現可能 ■さまざまなアプリケーション(磁気ヘッド、FPD、材料研究等)に対応し、 用途別に試料台作成可能(オプション) ※詳しくはカタログダウンロードまたは、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速画像処理と高品質など多様な要望に対して柔軟に対応
車載用、医療、軍事およびITS(高度道路交通システム)の応用分野により、高速画像処理や高品質など多様な要望に対して柔軟に対応する。
不透明・半透明の多層プラスチックの各層厚みを、テラヘルツ光の反射遅延時間から測定します。
【特長】 ・単層および多層プラスチックボトルおよび容器の個々の層の厚さを測定 ・最大10層まで測定可能 ・多層構造内の極薄バリア層を探しだし、膜厚を測定 ・断面を計測する時のように切断不要 ・手間と時間を節約しつつ、これまでにないレベルの高精度と再現性を実現
センサヘッド分離型でインライン測定装置にも組込可能
【特長】 ・高精度多層膜厚計測 ・膜中のボイド検出 ・高精度坪量測定 ・非破壊測定 ・不透明および半透明材料の測定 ・非接触&高速測定 ・非電離放射線
赤外線式 非接触 厚み計 「簡易操作とメンテナンスフリー!」
<XYマッピング測定可能> ワークをXY移動しながらマッピング計測可能 <すぐに使える操作性> 基準片から検量線を自動作成します すぐに計測開始可能です <メンテナンスフリー> 光源・線源等、短期交換部品はありません
サイクルタイムを短縮!半導体製造における膜厚測定に
半導体業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、ウェーハや薄膜の正確な膜厚測定が不可欠です。特に、微細化が進む中で、膜厚のわずかなずれが製品の性能に大きな影響を与えるため、高精度な測定が求められます。光干渉測定器『NCG』は、光干渉技術により、ガラス、プラスチック、シリコンウェハー等、異なる材質の厚みを管理するように設計されています。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程における膜厚測定 ・薄膜形成プロセスの品質管理 ・半導体デバイスの製造における品質保証 【導入の効果】 ・目的の公差内の加工精度を保証 ・サイクルタイムを短縮 ・コントロールされた安定した生産を維持