【顕微分光膜厚計】で、複雑な形状のある任意ポイントの測定
さまざまな用途のDLCコーティング厚みの測定
DLC(diamond‐like carbon)はアモルファス（非晶質）な炭素系材料です。高硬度・低摩擦係数・耐摩耗性・電気絶縁性・高バリア性・表面改質やDLCの厚み測定は断面を電子顕微鏡にて観察する破壊検査が一般的でしたが、大塚電子の光干渉式膜厚計であれば非破壊かつ高速に測定が可能です。測定波長範囲を変えることで極薄膜から超厚膜まで幅広い膜厚が測定できます。 独自の顕微鏡光学系を採用することで、形状のあるサンプルの実測定が可能になりました。また、測定箇所をモニターで確認しながら測定を行うことで異常原因の分析に役立てることができます。 特注でさまざまな形状に対応した傾斜・回転ステージをご用意いたします。実サンプルの任意の複数箇所が測定可能です。 材料の光学定数（nk）が分からないと正確な膜厚測定ができない問題は、独自の解析手法：複数点解析を用いて、厚みの異なる複数サンプルを同時解析することで従来に比べ非常に高精度にnkを求めることが可能です。NIST検定の標準サンプルで校正を行うことでトレーサビリティを保証します。
- 企業：大塚電子株式会社
- 価格：応相談
