原子間力顕微鏡(傾斜ステージ) - メーカー・企業と製品の一覧

原子間力顕微鏡の製品一覧

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原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-3DM』

NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM

『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの原子間力顕微鏡(AFM)です。傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャンシステムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の課題を克服します。【ウエハファブ用で必須なツール】 ■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM ■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン ■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測 ■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに　高品質のイメージが得られる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

企業：パーク・システムズ・ジャパン株式会社
価格：応相談

その他顕微鏡・マイクロスコープ

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コンパクトAFM『NaioAFM』※デモ受付中

表面形状の測定を短時間・簡潔に！防塵・防風用シールド、防振機構が標準搭載

『NaioAFM』は、表面形状の測定に必要な要素技術を標準搭載しつつ、装置のセットアップやカンチレバー交換が簡単に行えるなど、機能性と操作性を両立したコンパクトタイプの原子間力顕微鏡です。スキャン前に必要な再チューニングやサンプルへのアプローチ、サンプル平面の傾斜補正はソフトウェアが自動的に行うため、サンプルにカンチレバーを近づければ、スキャンが開始されます。【特長】 ■コントローラ、XYステージ・防風シールド・防振機構が一体化 ■高分解能トップビュー光学カメラ搭載・場所決め用サイドビュー観察 ■ニーズに応じて測定モードの追加が可能 ■お客様先に装置を持参してのデモも受付中 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。　デモをご希望の方はお問い合わせフォームよりお申込み下さい。