反転移載機 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

反転移載機 Product List

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シリコンウェーハを反転移載する装置です。

・シリコンウェーハを外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。

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