石製 真空吸着テーブル
グライナイトを使用した真空吸着テーブル
当社は、薄くて軽いワークを高精度な平面度の面に吸着することで、 ひずみなくワークを固定することでき、精密な塗布プロセス・検査 及び各種加工が行える『石製真空吸着テーブル』をご提供しております。 表面を荒くしてガラス基板剥離時の帯電を抑え、ガラス状に形成している トランジスタなどの静電破壊を防止します。 また当社では、通常のラップ面仕上げRa0.8に対し、平面精度を 維持したまま面粗し、仕上げRa0.5程度まで対応することが可能です。 【特長】 ■天然石のため、経年変化がほとんど生じない ■熱伝導率が小さく温度変化の影響を受けにくく、平面精度が維持される ■傷がついても”かえり”が無いため、平面精度が維持される ■腐食が無く、クリーンでメンテナンスフリー ■ワークがガラス基板の場合、静電気の発生を抑えられる ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
- 企業：株式会社関ケ原製作所
- 価格：応相談
