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石製 真空吸着テーブル

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最終更新日:2021年12月22日

株式会社関ケ原製作所
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グライナイトを使用した真空吸着テーブル

当社は、薄くて軽いワークを高精度な平面度の面に吸着することで、 ひずみなくワークを固定することでき、精密な塗布プロセス・検査 及び各種加工が行える『石製真空吸着テーブル』をご提供しております。 表面を荒くしてガラス基板剥離時の帯電を抑え、ガラス状に形成している トランジスタなどの静電破壊を防止します。 また当社では、通常のラップ面仕上げRa0.8に対し、平面精度を 維持したまま面粗し、仕上げRa0.5程度まで対応することが可能です。 【特長】 ■天然石のため、経年変化がほとんど生じない ■熱伝導率が小さく温度変化の影響を受けにくく、平面精度が維持される ■傷がついても”かえり”が無いため、平面精度が維持される ■腐食が無く、クリーンでメンテナンスフリー ■ワークがガラス基板の場合、静電気の発生を抑えられる ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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石製 真空吸着テーブル

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  • 関連リンク - https://www.sekigahara.co.jp/service/precision-eqp…

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基本情報

【製品タイプ】 ■溝タイプ  ・最小0.2mmまでの直線・曲線(サイズに制限有)の溝加工が可能  ・穴タイプより安価 ■穴タイプ  ・最小Φ0.3mmまで穴加工が可能  ・変形しやすい薄いワークに適している ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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当社は、「一気通貫のものづくり」「7つの事業と3つの会社」 「技術の伝承」の3つの特長にて様々な事業を展開しております。 開発から設計、製造、納品後のアフターフォローまで、一気通貫の ものづくり体制を確立し、付加価値の高い製品・サービスをご提供いたします。 また、グループ会社である関ケ原ゼネラルサービス、南通関ケ原機械製造 (中国)とお互いに連携を深め、社会に貢献しています。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。

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