真空機器関連商品 EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞
CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。
真空機器関連商品 EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞は、低圧高密度プラズマによる高速・高品質表面処理装置で、CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。低圧力領域においてエネルギー可変電子ビームにより、プロセスガスを高効率に解離、電離を行なうことができ、高密度の活性種を生成することが可能。CCPプラズマ、ICPプラズマでは達成できないプラズマ状態を生成し、様々な材料の精密成膜、エッチング、表面改質ができます。φ100mmの酸化物、金属、樹脂等の成膜、表面改質に対応。ステージ加熟（Max500℃）、バイアス印加による高速高精度処理が容易となっております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社片桐エンジニアリング
- 価格：応相談
