回転ステージ『SK…W』
IKOクロスローラベアリングを採用!一から回転ステージの設計をする手間を削減
『SK…W』は、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、 テーブル上面の振れ量5μm以下を実現した製品です。 クロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現。 テーブルには、装置のテーブルや検査対象物などを直接 取り付けることが可能です。 【特長】 ■高精度 ■低断面・高剛性 ■設計工数削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:日本トムソン株式会社
- 価格:応相談