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回転ステージ×日本トムソン株式会社 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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回転ステージ『SK…W』

IKOクロスローラベアリングを採用!一から回転ステージの設計をする手間を削減

『SK…W』は、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、 テーブル上面の振れ量5μm以下を実現した製品です。 クロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現。 テーブルには、装置のテーブルや検査対象物などを直接 取り付けることが可能です。 【特長】 ■高精度 ■低断面・高剛性 ■設計工数削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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