薄型回転ステージ｜光学アライメント品質を維持するピエゾ駆動
高さ14mm・中央開口付き。レーザー・光学系の角度位置決めを省スペースで実現
PILine(R)超音波ピエゾモータを採用した『U-651』は、わずか14 mmの高さで、>360 °の回転動作するステージです。 最大速度540 °/sで、0.3 N·mトルク、光学角度エンコーダで、12 µradの最小動作を実現。 φ36 mmの開口で、レーザ光路や配線を通すことも可能。セルフロック機構が通電ゼロでも位置保持。 クロスローラーベアリングで耐荷重は20N。 ※詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
