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独立した圧力モニター及びコントロールが可能な、ダウンストリーム圧力制御装置
『AP-100Rシリーズ』は、製造装置における真空チャンバーを真空排気 する際バルブコンダクタンスを変化させることにより、真空排気速度を 制御する為のダウンストリーム圧力制御装置として使用します。 2個のキャパシタンスマノメーターを接続し独立した圧力モニター 及びコントロールが可能。 インコトロールステータス信号の出力、コントローラ異常警報出力 ができます。 【特長】 ■独立した圧力モニター及びコントロールが可能 ■バルブのソフトスタート(スローバキューム) ■ランプコントロール(遅延コントロール)が可能 ■インコトロールステータス信号の出力 ■コントローラ異常警報出力 ■レンジの異なる2個のキャパシタンスマノメーターも接続した 圧力モニター、コントロールが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
圧力レンジ：-100kPa ～ 21MPa、精度：0.01% FSまたはIS-50のモジュール式圧力コントローラーです。
CPC6050は最大 2 つのセンサとレギュレータが内蔵可能で、それぞれ単独制御できます。 大気圧センサも内蔵可能で、大気圧/絶対圧/ゲージ圧の表示切替が可能です。 校正や生産工程など多くのアプリケーションを提案しています。 ＜スペック＞ ・圧力レンジ：-100kPa～21MPa ・ゲージ圧 ：0...21kPa～21MPa ・連成圧：-1.2kPa...1.2kPa～-100kPa～21MPa ・絶対圧：50kPa ～ 21.1MPa ・精度 ：FS±0.01% or 0IS-50 ・校正間隔：365日 ・設定単位：38 単位と二つのユーザ単位 ・8.9”カラーLC ディスプレイ、タッチスクリーン式 ・分解能 4...6 桁 ・供給圧力媒体：AirもしくはN2 ・供給電源：AC 100～110V / 200～240V、 50/60Hz ・消費電力： 120 VA ・インターフェース ：Ethernet、IEEE-488、USB、RS-232 詳細は製品データシートをご覧下さい。 ポータブル型 圧力コントローラー Model CPC6050
