圧力コントローラ『AP-100Rシリーズ』
独立した圧力モニター及びコントロールが可能な、ダウンストリーム圧力制御装置
『AP-100Rシリーズ』は、製造装置における真空チャンバーを真空排気 する際バルブコンダクタンスを変化させることにより、真空排気速度を 制御する為のダウンストリーム圧力制御装置として使用します。 2個のキャパシタンスマノメーターを接続し独立した圧力モニター 及びコントロールが可能。 インコトロールステータス信号の出力、コントローラ異常警報出力 ができます。 【特長】 ■独立した圧力モニター及びコントロールが可能 ■バルブのソフトスタート(スローバキューム) ■ランプコントロール(遅延コントロール)が可能 ■インコトロールステータス信号の出力 ■コントローラ異常警報出力 ■レンジの異なる2個のキャパシタンスマノメーターも接続した 圧力モニター、コントロールが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：メガトール株式会社
- 価格：応相談
