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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカスタマイズも可能です。
【SEMICON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しております。 【注目製品】 新製品：温度変化に強いADROITシリーズ！ 半導体製造装置、空調システム、自動車等に適したデジタル温度補正機能搭載の圧力センサです。 【圧力校正器・コントローラ】 半導体製造装置、サブシステムの圧力計測、検査ラインの圧力テスト、品質保証のための圧力標準に。 生産ラインへの導入でコストが各段に削減できます。詳しくは下記リンクをご覧ください。 ※尚、イプロスにご登録されている個人情報は、弊社正規代理店にも共有させていただき、代理店よりご連絡させていただく場合がございますのでご了承ください。
Druckから最新型のシリコン・ピエゾ抵抗式デジタル補正 アナログ出力式圧力センサADROIT 6200がの登場です。
【特長】 新しい ADROIT 6200 は、高性能で堅牢な圧力セン サーです。完全に溶接された 316L ステンレス鋼ボディに 微細加工されたシリコンの最良の機械的特性と最新の ディジタル処理能力を組み合わせることで、このタイプのデ バイスではこれまで利用できなかったレベルの性能を提供 します。ゲージ圧、絶対圧および差圧、および 20kPa～ 35MPaまでの圧力範囲を含む、あらゆる圧力測定が可 能です。 〇コンパクトな本体 〇高度なデジタル温度補正機能 〇高速応答性 〇優れた温度ヒステリシス特性 〇長期安定性 【基本特性】 ■FS 圧力レンジ 20 kPa ～ 35 MPa ■ゲージ圧、絶対圧、差圧 ■4-20mA 又は任意指定可能な V 出力 ■総合確度 ±0.1%FS ■応答周波数 1 kHz ■316L ステンレス材料 ■動作温度範囲 -55℃～125℃ ※詳しくはお問合せください。 尚、イプロスにご登録されている個人情報は、弊社正規代理店にも共有させていただき、代理店よりご連絡させていただく場合がございますのでご了承ください。
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