小型 MEMS ピエゾ抵抗式圧力センサダイ S シリーズ
ピエゾ抵抗式ホイートストンブリッジを採用！クリーンな空気や非腐食性ガスの圧力測定に好適
本製品は、6.9～34,474kPaの広い圧力レンジに適した小型のピエゾ抵抗式 MEMS圧力センサダイです。 装置の小型化や高温環境下での安定した圧力測定に課題を抱えるお客様に 向けて設計。 -40℃～150℃の広い動作温度範囲と優れた長期安定性を実現しており、 温度変化の大きい環境でも安定した測定が可能です。 【特長】 ■6.9～34,474kPaの幅広い圧力レンジ ■絶対圧・ゲージ圧の選択可能 ■1.5×1.5mmの超小型MEMSダイ ■ピエゾ抵抗式ホイートストンブリッジによる高感度検出 ■-40℃～150℃の広い動作温度範囲 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：グローバル電子株式会社
- 価格：応相談
