圧力トランスミッター
優れた温度特性を有する高精度センサー
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-300シリーズは優れた温度特性を有する高精度センサーで、接ガス(液)部にSUS316Lダブルメルト材を採用することにより優れた耐蝕性を有しております。
- 企業:株式会社ピー・ジェイ
- 価格:応相談
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優れた温度特性を有する高精度センサー
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-300シリーズは優れた温度特性を有する高精度センサーで、接ガス(液)部にSUS316Lダブルメルト材を採用することにより優れた耐蝕性を有しております。
業界トップレベルの耐ノイズ性能を誇ります。
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-700シリーズは当社独自の電磁波シールド構造とEMIフィルター及び貫通コンデンサーの採用により強力な高周波ノイズも寄せ付けません。
腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーPC-600シリーズ
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、HBr、HCl等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスが多く使用されております。これらの腐蝕性ガスは、ガス供給配管系に使用される圧力センサー・ガスフィルター等に使用されておりますステンレス鋼材の内表面に吸着したわずかな水分とも反応し、腐蝕生成物を形成します。この生成物は、パーティクルを発生させ、半導体プロセス汚染の原因となっております。ピュアロンでは、このような腐蝕性特殊ガスに対し、ステンレス鋼材SUS316Lをはるかにしのぐ耐蝕性を有するハステロイ(R)を使用した腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーPC-600シリーズを開発致しました。
優れた温度特性を有する表示器付高精度圧力センサー
半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PCD-905シリーズは優れた温度特性を有する表示器付高精度圧力センサーで、接ガス(液)部にSUS316L材を採用することにより優れた耐蝕性を有しております。