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均熱ヒーターモジュール×株式会社九州日昌 - 企業1社の製品一覧

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高温均熱ヒーターユニット『SHBU-K』

ウエハの直接加熱などステンレスの高剛性、耐摩耗性を生かした使用が可能!

『SHBU-K』は、優れた温度分布を有する高温均熱ヒーターユニットです。 ステンレスではあきらめていた均一な温度分布を当社独自の技術により 可能としました。 さらに、従来のアルミでは対応が難しい500℃までの仕様が可能。 アルミと違い熱膨張率が小さい為、加熱時の変形量が小さく プレス等の熱源に好適です。 【特長】 ■優れた温度分布 ■高温域で性能を発揮 ■500℃までの仕様が可能 ■低熱膨張 ■加熱時の変形量が小さくプレス等の熱源に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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