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基板洗浄機(コンベア) - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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基板洗浄機『VSC727』 特殊ブラシによりパターン間形状に対応

ファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的!ブラシユニット脱着が簡単!

基板・フィルムブラシ洗浄機 「VSC-727」は、特殊ブラシにより、パターン間の形状にフレキシブルに対応可能です。 粘着ローラーと違いファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的。 吸着コンベアを採用し薄物基板も安定して搬送します。 【特徴】 ○ブラシユニットの脱着が工具無しで簡単に行えます ○ギャップアジャスタを搭載し60μ~3.2mmの基板に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • その他洗浄機

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有機EL基板洗浄装置 ME-6500-10

有機EL等の基板製造装置に最適です!

基板の洗浄を目的とし、洗浄ブラシ、HPMJ、MS、最終リンス、水切りを経て排出部へ送り出す工程を枚葉にて行う装置です。

  • その他半導体製造装置

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