有機EL基板洗浄装置 ME-6500-10
有機EL等の基板製造装置に最適です!
基板の洗浄を目的とし、洗浄ブラシ、HPMJ、MS、最終リンス、水切りを経て排出部へ送り出す工程を枚葉にて行う装置です。
- 企業:マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
1~6 件を表示 / 全 6 件
有機EL等の基板製造装置に最適です!
基板の洗浄を目的とし、洗浄ブラシ、HPMJ、MS、最終リンス、水切りを経て排出部へ送り出す工程を枚葉にて行う装置です。
ファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的!ブラシユニット脱着が簡単!
基板・フィルムブラシ洗浄機 「VSC-727」は、特殊ブラシにより、パターン間の形状にフレキシブルに対応可能です。 粘着ローラーと違いファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的。 吸着コンベアを採用し薄物基板も安定して搬送します。 【特徴】 ○ブラシユニットの脱着が工具無しで簡単に行えます ○ギャップアジャスタを搭載し60μ~3.2mmの基板に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
DMBFY社製の基板洗浄機
■特長 ・給油が必要ないλ-CHAIN使用で油分による製品汚染を防止 ・同じ区間内でも特長に合わせた多様な移送ロールを使用し、洗浄および処理能力を極大化させる ・全てのノズルバーをワンタッチ&クランプ装着形に製作し維持補修時、ロスを最小化させる。 ※その他特長及びDMBFYについては、カタログをダウンロードしてご覧ください。
2インチ未満の小型基板の洗浄・乾燥に特化した小型基板洗浄機!新規材料に関する開発、デバイス化を強力にサポート!
『Ecclear』は、直径2インチサイズ未満の小径基板を洗浄・乾燥する装置です。独自に開発した小径基板専用の 洗浄・乾燥機構により、高いレベルの清浄度が達成可能になりました。研究開発で使用する小さな基板や、バイオチップ・光学部品・メムスパーツなどの洗浄乾燥に最適です。 【特長】 ■低ダメージで高い付着物除去能力を発揮するブラシを開発 ■遠心力で偏心する乾燥機構(特許番号:WO2015-098699) ■HEPAフィルター ■搬送オプションで量産対応も可能 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。
WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置は、基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○UV/O3によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上 ○UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理 ○基板傾斜水洗機能による自然落下、置換の高効率化 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
油分による製品汚染を源泉封鎖!同じ区間内でも特長に合わせた多様な移送ROLLを使用します
当製品は、MSAP、銅メッキ、バンプ等の最終基板洗浄機です。 同じ区間内でも特長に合わせた多様な移送ROLLを使用した 洗浄および処理能力を極大化させます。 また、MAGNETIC駆動適用で、非接触方式で半永久的使用 及び異物発生が無い構造となっております。 【特長】 ■下部排気適用 ■Chamber内水掃除可 ■KNIFE別個別の圧力調節適用 ■薄板 対応及び圧力傾き防止 ■TOP DOWN方式適用 ■乾燥能力強化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。