有機ＥＬ基板洗浄装置 ME-6500-10
有機EL等の基板製造装置に最適です！
基板の洗浄を目的とし、洗浄ブラシ、HPMJ、MS、最終リンス、水切りを経て排出部へ送り出す工程を枚葉にて行う装置です。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
基板洗浄機 - メーカー・企業9社の製品一覧とランキング
更新日： 集計期間:2025年08月27日～2025年09月23日
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基板洗浄機のメーカー・企業ランキング
更新日： 集計期間:2025年08月27日～2025年09月23日
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- 株式会社サーマプレシジョン 東京都/その他
- Orbray株式会社 東京都/その他製造
- 島田テクノロジー株式会社 静岡県/産業用機械
- ケイワイ電子工業株式会社 大阪府/産業用電気機器
- 5 マック産業機器株式会社 埼玉県/その他製造 テクノロジーセンター
基板洗浄機の製品ランキング
更新日： 集計期間:2025年08月27日～2025年09月23日
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- 基板洗浄機『VSC727』 特殊ブラシによりパターン間形状に対応 株式会社サーマプレシジョン
- 小型基板洗浄機『Ecclear』【小型基板に対する洗浄に最適！】 Orbray株式会社
- 『基板洗浄装置』 島田テクノロジー株式会社
- 有機ＥＬ基板洗浄装置 ME-6500-10 マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 4 《新型》UDSスピン枚葉装置（レジスト剥離/リフトオフ系） 株式会社ソフエンジニアリング
基板洗浄機の製品一覧
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基板洗浄機『VSC727』 特殊ブラシによりパターン間形状に対応
ファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的！ブラシユニット脱着が簡単！
基板・フィルムブラシ洗浄機 「VSC-727」は、特殊ブラシにより、パターン間の形状にフレキシブルに対応可能です。 粘着ローラーと違いファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的。 吸着コンベアを採用し薄物基板も安定して搬送します。 【特徴】 ○ブラシユニットの脱着が工具無しで簡単に行えます ○ギャップアジャスタを搭載し60μ～3.2mmの基板に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社サーマプレシジョン
- 価格：応相談
《新型》UDSスピン枚葉装置（レジスト剥離/リフトオフ系）
フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向上
■エッチング、RCA洗浄、現像といった各種WETプロセスに好適 ■超音波を使わない有機剥離/リフトオフ処理に好適 ◎高圧Jetやスプレー処理に対応 ◎リフトオフ時のDry-Etch残差やバリ除去に有効な超音波使用時には、 「Spin Dipプロセッサー」をリコメンド。 ■1-チャンバーで薬液⇒リンス⇒乾燥のフルプロセスを、Dry-In/Dry-Outで対応 ◎従来方式：2-チャンバー構成（チャンバー間移送時に基板は薬液付着状態） ◎新方式：UDS式では1-チャンバー構成。 ■基板の基本動作 ◎「上段部…基板のLD」⇒「下段部…ケミカル処理」⇒ ⇒「中段部…リンス乾燥」⇒「上段部…基板のULD」 ■特許の遮断分離板で再利用時の薬液濃度を担保できます。 ◎リンス水混入希釈が無いため、薬液の温調循環再利用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、レジスト剥離装置、レジスト塗布装置、洗浄装置、メガソニック、フォトレジスト、フォトリソ工程
- 企業：株式会社ソフエンジニアリング
- 価格：応相談
最終基板洗浄機
DMBFY社製の基板洗浄機
■特長 ・給油が必要ないλ-CHAIN使用で油分による製品汚染を防止 ・同じ区間内でも特長に合わせた多様な移送ロールを使用し、洗浄および処理能力を極大化させる ・全てのノズルバーをワンタッチ＆クランプ装着形に製作し維持補修時、ロスを最小化させる。 ※その他特長及びDMBFYについては、カタログをダウンロードしてご覧ください。
- 企業：株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部
- 価格：応相談
【基板実装の基礎知識】基板洗浄について(1)
基板洗浄と代替フロン「洗浄液アサヒクリンAK-225」についてご紹介
「Ky技報」は、ケイワイ電子工業で行う製造業務全般の技術情報や 特殊対応などを掲載している技術資料です。 。 第030号では『基板洗浄について（１）』をご紹介しています。 はんだ付け実装後に共晶製品及び洗浄指定製品は 「フラックス洗浄」という精密洗浄を行っています。 フラックス洗浄に使用されている、 代替フロンHCFC-225『アサヒクリンAK-225』は 2019年末に販売中止が法律によって定められています。 当資料では、代替フロン洗浄に替わる洗浄液・洗浄装置について、 データや表などを用いた思案などを掲載しています。 【掲載内容】 ■基板洗浄について・洗浄液アサヒクリンAK-225 ■参照図1「フロンガスの種類と用途」 ■参照図2「我が国におけるHCFC削減目標」 ■フロン・代替フロンのまとめ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ケイワイ電子工業株式会社
- 価格：応相談
小型基板洗浄機『Ecclear』【小型基板に対する洗浄に最適！】
2インチ未満の小型基板の洗浄・乾燥に特化した小型基板洗浄機！新規材料に関する開発、デバイス化を強力にサポート！
『Ecclear』は、直径2インチサイズ未満の小径基板を洗浄・乾燥する装置です。独自に開発した小径基板専用の 洗浄・乾燥機構により、高いレベルの清浄度が達成可能になりました。研究開発で使用する小さな基板や、バイオチップ・光学部品・メムスパーツなどの洗浄乾燥に最適です。 【特長】 ■低ダメージで高い付着物除去能力を発揮するブラシを開発 ■遠心力で偏心する乾燥機構（特許番号：WO2015-098699） ■HEPAフィルター ■搬送オプションで量産対応も可能 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
- 企業：Orbray株式会社
- 価格：応相談
WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置
基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。
WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置は、基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○UV/O3によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上 ○UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理 ○基板傾斜水洗機能による自然落下、置換の高効率化 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社電子技研
- 価格：応相談
最終基板洗浄機
油分による製品汚染を源泉封鎖！同じ区間内でも特長に合わせた多様な移送ROLLを使用します
当製品は、MSAP、銅メッキ、バンプ等の最終基板洗浄機です。 同じ区間内でも特長に合わせた多様な移送ROLLを使用した 洗浄および処理能力を極大化させます。 また、MAGNETIC駆動適用で、非接触方式で半永久的使用 及び異物発生が無い構造となっております。 【特長】 ■下部排気適用 ■Chamber内水掃除可 ■KNIFE別個別の圧力調節適用 ■薄板 対応及び圧力傾き防止 ■TOP DOWN方式適用 ■乾燥能力強化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部
- 価格：応相談
基板洗浄＜モノづくり事業＞
産業機器製品に対応した生産工程！実績と定評が高いグリコールエーテル系洗浄剤を使用
当社では『基板洗浄』を承っております。 実装基板の洗浄において実績と定評が高いグリコールエーテル系の 洗浄剤を使用。 サイズ500×400で大型基板への対応も可能です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【保有設備】 ■真空洗浄乾燥機（HEARVY-4252／クリンビー） ・従来のフロン系、準水系洗浄機に変わる洗浄機 ・フラックス洗浄に欠かせないグリコールエーテル系洗浄液を使用 ・大型基板に対応 最大：500×450 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社エムイーエス 本社
- 価格：応相談
『基板洗浄装置』
小型洗浄から自動洗浄まで！培われた洗浄技術を駆使し、環境負荷低減を実現
『基板洗浄装置』は、島田テクノロジー株式会社が取り扱っている製品です。 半導体・フラットパネル分野で培われた洗浄・乾燥技術を駆使し、高品質・ 低ダメージなどさまざまな洗浄ニーズにお応えします。 また、被洗浄物に合わせた装置設計により、省スペース・省ユーティリティーを 実現し、環境負荷低減に貢献する各種精密洗浄装置群を提供します。 【特長】 ■培われた洗浄技術 ■環境負荷低減を実現 ■さまざまな洗浄ニーズにお応え ■小型洗浄から自動洗浄まで幅広く対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：島田テクノロジー株式会社
- 価格：応相談
