2インチ未満の小型基板の洗浄・乾燥に特化した小型基板洗浄機！新規材料に関する開発、デバイス化を強力にサポート！
『Ecclear』は、直径2インチサイズ未満の小径基板を洗浄・乾燥する装置です。独自に開発した小径基板専用の 洗浄・乾燥機構により、高いレベルの清浄度が達成可能になりました。研究開発で使用する小さな基板や、バイオチップ・光学部品・メムスパーツなどの洗浄乾燥に最適です。 【特長】 ■低ダメージで高い付着物除去能力を発揮するブラシを開発 ■遠心力で偏心する乾燥機構（特許番号：WO2015-098699） ■HEPAフィルター ■搬送オプションで量産対応も可能 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ■洗浄方式：枚葉式 ■ワークサイズ ・3～5mm、Φ0.5″、Φ1″ ・厚み0.3~1.0mm（その他サイズは応相談） ■洗浄時間(推奨洗浄条件） ・2min/枚 (ロードからアンロードまで） ■装置構成 ・基板搬送 ・スクラブ洗浄(ブラシ高さ調整可能） ・メガソニック洗浄(周波数：950kHz) ・スピン乾燥（回転数：～3,000rpm） ・HEPAフィルター ■装置寸法 (mm)：480W × 600D × 1,680H ■装置重量(kg)：200 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■小型基板洗浄機 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
Orbrayは、1939年創業、電気メーターのサファイア軸受宝石の製造から開始しました。精密宝石加工を原点とする“切る・削る・磨く”の固有技術に先端技術を融合し、日進月歩の技術革新を先取りし、半導体、医療理化学、通信、精密機器分野へと広範囲に製品を提供しています。ダイヤモンド、サファイアなどの素材育成から加工まで、半導体ツール（キャピラリ、ワイヤーテンション）、光通信部品、MEMS、精密ノズル、ルビーメス、サファイア製品、小型モーター（マイクロモーター）、マイクロダイヤフラムポンプ、サーボモータ、環境発電デバイスなど製造、販売しています。