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基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。
WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置は、基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○UV/O3によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上 ○UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理 ○基板傾斜水洗機能による自然落下、置換の高効率化 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的！ブラシユニット脱着が簡単！
基板・フィルムブラシ洗浄機 「VSC-727」は、特殊ブラシにより、パターン間の形状にフレキシブルに対応可能です。 粘着ローラーと違いファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的。 吸着コンベアを採用し薄物基板も安定して搬送します。 【特徴】 ○ブラシユニットの脱着が工具無しで簡単に行えます ○ギャップアジャスタを搭載し60μ～3.2mmの基板に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
2インチ未満の小型基板の洗浄・乾燥に特化した小型基板洗浄機！新規材料に関する開発、デバイス化を強力にサポート！
『Ecclear』は、直径2インチサイズ未満の小径基板を洗浄・乾燥する装置です。独自に開発した小径基板専用の 洗浄・乾燥機構により、高いレベルの清浄度が達成可能になりました。研究開発で使用する小さな基板や、バイオチップ・光学部品・メムスパーツなどの洗浄乾燥に最適です。 【特長】 ■低ダメージで高い付着物除去能力を発揮するブラシを開発 ■遠心力で偏心する乾燥機構（特許番号：WO2015-098699） ■HEPAフィルター ■搬送オプションで量産対応も可能 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
