【半導体プロセス最適化向け】多点式センサー
半導体製造プロセスの温度管理に！多点式センサーで効率化。
半導体業界では、製造プロセスの品質と歩留まりを向上させるために、精密な温度管理が不可欠です。特に、ウェーハ製造やアニール工程など、微妙な温度変化が製品の性能に大きく影響する場面では、正確な温度測定が求められます。温度分布の不均一さは、製品の不良や性能劣化を引き起こす可能性があります。多点式センサーは、1本の保護管で最大20箇所の温度を測定できるため、プロセス全体の温度分布を効率的に把握し、最適な条件を見つけ出すのに役立ちます。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程の温度管理 ・アニール工程の温度均一性評価 ・CVD/PVD装置内の温度モニタリング ・その他、温度管理が重要な半導体製造プロセス 【導入の効果】 ・プロセスの最適化による歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・温度管理の効率化 ・不良品の削減
- 企業：株式会社京都電熱
- 価格：応相談
