半導体製造プロセスの温度管理に！多点式センサーで効率化。
半導体業界では、製造プロセスの品質と歩留まりを向上させるために、精密な温度管理が不可欠です。特に、ウェーハ製造やアニール工程など、微妙な温度変化が製品の性能に大きく影響する場面では、正確な温度測定が求められます。温度分布の不均一さは、製品の不良や性能劣化を引き起こす可能性があります。多点式センサーは、1本の保護管で最大20箇所の温度を測定できるため、プロセス全体の温度分布を効率的に把握し、最適な条件を見つけ出すのに役立ちます。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程の温度管理 ・アニール工程の温度均一性評価 ・CVD/PVD装置内の温度モニタリング ・その他、温度管理が重要な半導体製造プロセス 【導入の効果】 ・プロセスの最適化による歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・温度管理の効率化 ・不良品の削減
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基本情報
【特長】 ・細さ・強度・レスポンスに優れており、温度範囲が広いです。 ・1本の保護管で最大20箇所の測定が可能。 ・直径1mmの保護管で最大7箇所の測定が可能。 ・使用温度は600℃までの中高温度に対応しています。（保護管径Φ1.6以上はJISクラス3に対応） ・測定物の形状に合わせて、保護管の形状を加工することができます。 【当社の強み】 株式会社京都電熱は、お客様のニーズに合わせたヒーターやセンサーの設計・製作を得意としています。半導体製造プロセスに最適な温度管理ソリューションを提供し、お客様の課題解決に貢献します。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■各種雰囲気炉・チャンパー等の炉内温度分布測定 ■金型内部の温度分布測定 ■各種液体の温度分布測定 ■液体側面（低温用・高温用） 【実績例】 ■液体天然ガスを気化するための熱交換換気化装置内の温度分布 ■ディーゼルエンジン排気ガス処理フィルターの温度分布 ■汚水処理時の温度分布
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企業情報
株式会社京都電熱は、1991年（平成3年）の創業以来、お客様のニーズに合わせて各種ヒーターなどを設計・製作し、お客様からの信頼と信用をモットーに歩んでまいりました。 一般産業機器から応用機器まで、あらゆる産業の生産装置に求められる“加熱”のパートナーとして、クオリティーの高い製品をローコストかつスピーディーに供給させていただいております。 豊富な取り扱いヒーターの中からお客様の用途に合ったヒーターを選定するほか、オーダーしていただき一から設計・製作することも可能です。積み重ねてきた経験と実績を基に、これからも様々な“加熱”をお客様と共に作り出していきたいと考えております。 今後ともご愛顧の程、よろしくお願いいたします。
