対応露光装置 - 企業1社の製品一覧

Ø150mm対応露光装置

Ø2”～6”対応全自動露光装置（マスクアライナ）

【主な特長】 ・全機能がコンパクトに一体化 ・独自のアライメントシステムを搭載。 ・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助と生産管理。 ・上位通信システム対応可能。 ・量産用としてのべ５００台以上の販売実績。

• 企業：株式会社大日本科研
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置