超解像ミクロスフィア増幅対物レンズ
≦100nm分解能を実現した対物レンズ。
≦100nm分解能。超分解能ミクロスフィア増幅レンズ SMAL(Super-resolution Microsphere Amplifying Lens ) 非接触・非破壊で半導体製造工程でのシリコンウエハの検査等にご使用いただけます。
- 企業:株式会社日本レーザー
- 価格:応相談
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≦100nm分解能を実現した対物レンズ。
≦100nm分解能。超分解能ミクロスフィア増幅レンズ SMAL(Super-resolution Microsphere Amplifying Lens ) 非接触・非破壊で半導体製造工程でのシリコンウエハの検査等にご使用いただけます。