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下限50kHzまでの狭い線幅を容易かつ安定的に測定します。
A0020A レーザー線幅測定システムは、実績のある自己遅延型ヘテロダイン方式により、安定かつ再現性の高い線幅測定ができるシステムです。デジタルコヒーレント光通信等に用いられる狭線幅レーザ光源について、下限40 kHzまでの狭い線幅を容易かつ確実に測定できます。 【特長】 ■下限40 kHzまでの狭い線幅を容易かつ確実に測定 ■A0010A RIN測定システムに統合可能 ■干渉計に自己遅延型ヘテロダイン方式採用 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ご使用の顕微鏡に取り付け簡単、システムアップ！様々なエッジ検出指定が可能です
『LW-3200／MT-3200』は、半導体ウェハー、液晶カラーレジストなどの 微小線幅を3σ＝10nmの繰り返し精度で測定できるシステムです。 ネガ、ポジ、インサイド、アウトサイドなど線の種類に応じて、 様々なエッジ検出指定が可能。 傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定ができます。 また、オプションとして簡単操作、高精度AFと組み合わせ可能です。 ※納品までに一定の期間をいただく場合がございますのでご了承ください。 【特長】 ■3σ＝10nmの繰り返し精度で測定 ■線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能 ■傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定できる ■簡単操作、高精度AFと組み合わせ可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡単操作、高精度AF機能を標準搭載！微小線幅を3σ=10nmの繰り返し精度で測定
『VP-5LW』は、Z軸ステージモーター出力ドライバ、オートフォーカス機能、 計測ソフトウェア、Windows OSを搭載したオールインワン型微小線幅測定器です。 半導体ウェハー、液晶カラーレジストなどの微小線幅を3σ=10nmの 繰り返し精度で測定。(対物レンズ100倍時) 線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定ができ、傾いている線も検出した線に 対して垂直に測定が可能です。 ※納品までに一定の期間をいただく場合がございますのでご了承ください。 【特長】 ■AF機能標準搭載 ■300万画素モノクロカメラ ■独自開発のAF画像処理ユニット ■線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
