あら引きバルブ『Vシリーズ』
小型化と低価格を実現！高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブに好適
『Vシリーズ』は、10^-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。 真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用。 高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブとして好適です。 また、圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用の ポジションセンサスイッチを装備しています。 【特長】 ■10^-4Pa程度の高真空領域まで使用可能 ■軸シール部のみ、ふっ素グリースを使用 ■開閉ポジションセンサスイッチ装備 ■駆動方式 ・圧空 ・手動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company：キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
- Price：応相談
