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代表的な干渉方式や干渉対物レンズ、光干渉式形状測定システムの特長も解説！
当資料は、光干渉(白色光干渉)測定システムの基本原理や測定方式、 特長、アプリケーションに関する留意点をまとめたものです。 同じ非接触式の形状測定装置として、共焦点式レーザマイクロスコープの 原理、特長もご紹介。 ご一読いただき、本書の内容が少しでもお客様の懸案解決の一助に なりましたら幸いです。 【掲載内容】 ■光干渉とは ■光干渉の基本 ■非接触式形状測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
12'ウエハ全面検査を高速化 ウエハ全数検査にも使用可能
12'ウエハ全面のTTV, Bow, Warpの測定ができます。 最大7万点/秒で測定できるため、XY160umピッチを約2分と短時間で全面測定が可能です。 SEMIに準拠したソフトも揃えた、フルシステムとなります。 使用しているセンサは、弊社の分光干渉センサ2IT DWシリーズより選択でき、Z分解能は1nm~と高精度に測定できます。 ウエハ全面の高速測定を可能にするのは、弊社のエリアスキャナFSS310であり、こちらが組み込まれています。
ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能！ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に
『Dyvoceシリーズ』は、被測定ワークにあわせたレーザ変位計を用いる 非接触形状測定システムです。 使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、 高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコントロール技術 により、様々な測定が可能。 ラインアップ以外のステージサイズ（測定領域）に関しては、 ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に好適 ■使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備 ■ワークに合わせた専用ホルダの製作も対応 ■御客様のサンプルをお預かりして、導入前のテスト測定を承っている ■実際に測定を試していただくことも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
そり·たわみ·厚さ測定に最適
高精度表面形状システムDyvoce(ダイボス)は、測定対象に最適な変位計を用いる非接触の形状測定システムです。 高精度ステージメーカーならではの高い信頼性とモーションコントロール技術により様々な測定を可能にします。
