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天然ガスも高純度ガスもこの一台！
『Falcon Trace』は、ボールSAWセンサーを用いて、工業用ガスや 天然ガスにごく微量含まれる水分子を定量的に測定する装置です。 ボールSAWセンサーの表面10nm程度の極薄い膜が水分子を捉えること、 センサーセルの空間容積が1ml程度であることから、応答速度が 極めて早く水分量の変化を秒単位でモニター可能。 また、センサーの出力を水分量を示す出力値とバックグラウンドガスの 平均分子量を示す出力値に分離することができるため、バックグラウンド ガスごとに再校正する必要がなく、また天然ガスなどの成分に変動がある 場合も同時に検知ができます。 【特長】 ■応答速度が極めて早い ■バックグラウンドガスごとに再校正する必要がない ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
-90℃までリアルタイムにモニタリング可能！低露点からの微量水分の上昇を1秒で測定できます
『FalconTrace Platinum』は、露点 -90℃（0.1ppmv）まで 測定可能な微量水分計です。 低露点からの微量水分の上昇を1秒で測定できる高速応答性を有し、 産業ガス中の水分子量が短時間に変化する様子を、インラインで リアルタイムに把握することが可能。 産業ガスなどの化学品、半導体製造、リチウムイオン電池などの 製造プロセスで最終製品の品質安定、歩留まり向上に貢献いたします。 【特長】 ■ミドルレンジモデル ■露点 -90℃（0.1ppmv）まで測定可能 ■低露点からの微量水分の上昇を1秒で測定 ■「ボールSAWセンサ」を用いた微量水分計 ■品質モニタリングツールとして製品開発や製造に役立つ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
微量水分のリアルタイム計測が可能！高速応答の微量水分計
当社が取り扱う、微量水分計『FalconTrace mini（FT-300WT）』 についてご紹介いたします。 空気・不活性ガス・その他（応相談）のガス種に対応。 1秒以内の応答速度を誇ります。 【特長】 ■高速応答 ■ハンディ ■微量水分のリアルタイム計測が可能 ■測定範囲：0～1,000ppmv ■検出感度：1ppmv ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
微量水分のリアルタイム計測が可能な高速応答・ハンディ・微量水分計をご紹介します
『FalconTrace mini』は、微量水分のリアルタイム計測が可能な 高速応答・ハンディ・微量水分計です。 測定範囲（露点）は、-70～+4℃。 オプションにて-90℃も可能です。 インターフェイスは、USB、イーサネット、WiFiに対応しています。 【仕様（抜粋）】 ■型番：FT-300WT ■測定範囲（露点）：-70～+4℃（オプション -90℃） ■測定範囲（PPM）：0～4000ppmv ■最小検出感度：1ppmv（オプション -0.04ppmv） ■反応速度：1秒以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「研究開発型スタートアップ支援事業／PCA」に採択されました！
ボールウェーブ株式会社は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術 総合開発機構の2020年度「研究開発型スタートアップ支援事業／ Product Commercialization Alliance（PCA）」に係る公募に応募し採択されました。 先端の半導体産業においては、半導体基板表面に形成する配線パターンの 超高精細化、超薄膜化が極限的に進んでいます。 これらの先端半導体プロセスでは、これまでは問題にされなかったような ごく僅かな不純物でも製品欠陥の原因になりうるため、使用される原材料の 不純物を極限まで減らすことが求められています。 本研究では、当社の高速応答が可能で小型高感度なセンサ「ボールSAWセンサ」を 用いた微量水分計 FalconTrace および FalconTrace miniをもとに、 先端半導体プロセスで使用される特殊ガス中の微量水分をインラインで モニターできる装置の製品開発を実施します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
いま水分計測は超微量を高速で計測する時代へ！わずか1秒または30秒の高速応答を実現
『FalconTrace』は、多重周回で長距離を伝搬する弾性表面波の変化を 計測する「ボールSAWセンサ」を搭載した微量水分計です。 「超」微量水分計測を実現した「FT-700WT Mk-II」や、高速応答は そのままに装置組み込みを重視した「FT-450WT」をラインアップ。 また、ミドルレンジでのリアルタイム計測を可能にした 「FT-400WT」もございます。 【特長】 ■各種計測用途に応じて適切な機能を搭載しシリーズ化 センサ部の小型化も達成しさまざまなアプリケーションに柔軟に対応 ■ppmvまたはppbvオーダーまでの高感度かつ広範囲を検出、微量の水分も見逃さない ■厚さわずか10nmの感応膜により、高速応答を実現 これまで困難だった水分量のリアルタイム制御系の実現に貢献 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
