『GA2000シリーズ』
RS232C通信制御！PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持する製品を紹介
『GA2000シリーズ』は、ウェハセンタリングがPEEK樹脂製クランプで ウェハ外周を把持します。 2相ステッピングモータ使用。 極単純構造にすることにより、製造コストの大幅な削減が可能です。 また、4インチウェハに対応。 当製品のことでしたら、アテル株式会社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■RS232C通信制御 ■2相ステッピングモータ使用 ■4インチウェハ対応 ■極単純構造にすることにより、製造コストの大幅な削減が可能 ■ノッチ位置決め ウェハ外周を把持し、光センサによる位置決め ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アテル株式会社
- 価格：応相談
