RS232C通信制御！PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持する製品を紹介
『GA2000シリーズ』は、ウェハセンタリングがPEEK樹脂製クランプで ウェハ外周を把持します。 2相ステッピングモータ使用。 極単純構造にすることにより、製造コストの大幅な削減が可能です。 また、4インチウェハに対応。 当製品のことでしたら、アテル株式会社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■RS232C通信制御 ■2相ステッピングモータ使用 ■4インチウェハ対応 ■極単純構造にすることにより、製造コストの大幅な削減が可能 ■ノッチ位置決め ウェハ外周を把持し、光センサによる位置決め ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。