抑制型パワーベース - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

【半導体製造向け】上昇時の偏荷重抑制型「リンク式パワーベース」

半導体製造の高精度搬送を支える、安定性とメンテナンス性を向上させた上昇時の偏荷重抑制型平行リンク内蔵パワーベース。

半導体製造業界では、微細な部品やウェハーの取り扱いにおいて、極めて高い精度と安定性が求められます。 わずかな傾きや振動が製品の品質に影響を与えるため、移載・昇降時の位置決め精度が重要となります。 当社の「リンク式パワーベース」は、平行リンク機構を内蔵することで、 テーブルのどの位置に荷重がかかる（偏荷重）場合でも、天板を水平に保ったまま垂直に昇降させることが可能です。 これにより、精密な搬送作業における位置ずれや傾きを抑制し、安定した動作を実現します。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内でのウェハーや基板の移載 ・精密部品の自動搬送ライン ・検査装置へのワークセット ・組立ラインでの微細部品の供給 【導入の効果】 ・移載・昇降時の位置決め精度向上 ・製品の歩留まり向上に貢献 ・横ブレの少ない安定した動作 ・自動化ラインへの容易な組み込み