均等排気バルブ SERIES 67.0
SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用）
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
排気バルブ - メーカー・企業と製品の一覧
排気バルブの製品一覧
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L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』
スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている、省スペースのバルブ！
「IVB_X,VX」シリーズは、チャンバー内部で発生するパーティクルの 巻き上げを防止します。 メインバルブとバイパスバルブが一体となっており、大気から真空に 排気する場合、若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力 変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により 圧力コントロールをします。 バイパスバルブには流量の固定と排気スピードが調整可能なタイプの 2種類を用意しており、このバイパスバルブは15Aサイズを除く「IVB」 「IVBL」「IVBH」シリーズ全てに対応可能です。 【特長】 ■従来のスロー排気ラインがメインバルブと一体構造 ■省スペース化が可能 ■排気ラインの低コスト化が可能 ■バイパスバルブは機種によって複数台取り付けることが可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社キッツエスシーティー
- 価格：応相談
均等排気バルブ SERIES 67.0
均等なガスフローで高度なプロセスに最適
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA)とソフトウェアの接続用）
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
安全排気バルブ『VPX400シリーズ』＜モジュラ接続形＞
「安全な排気による」保護システムを提供！内蔵圧力センサによるバルブ動作の不一致を確実に検出
『VPX400シリーズ』は、モジュラ接続が可能な安全排気バルブです。 デュアル残圧排気弁をはじめ、ソフトスタートアップバルブ、 主弁不一致検知の3つの機能を集約。 また、停電発生時に確実に排気(スプリングリターン)が行われ、 デュアル残圧排気弁のため片方が故障しても確実に排気します。 【特長】 ■省スペース ■軽量化 ■3つの機能を集約 ・デュアル残圧排気弁 ・ソフトスタートアップバルブ ・主弁不一致検知 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：藤川伝導機株式会社
- 価格：応相談
