小型生産機・研究開発機『iDS-mini』
大幅なサイクルタイム短縮を実現！カソード材料コストは約4分の1まで低減可能
『iDS-mini』は、大幅なコーティング材料コストの低減ができる 小型生産機・研究開発機です。 新開発のアーク蒸発源はカソード材料をφ160×t12のサイズまで大型化し、 広い面積を効率よく消耗させるため、磁石を回転させる独自の構造と なっています。 これらによりカソード材料の長寿命化が達成され、カソード材料コストは 約4分の1まで低減させることができます。（当社従来比） 【特長】 ■磁場ステアリング方式を利用した新開発アーク蒸発源を搭載 ■低コスト短サイクルのコーティング処理が可能 ■磁石を回転させる独自の構造(特許出願済み) ■カソード材料コストは約4分の1まで低減できる(当社従来比) ■大幅なサイクルタイム短縮を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本アイ・ティ・エフ株式会社
- 価格：応相談
