O2クリーニング用No.1変色の温度依存性
温度が高いほど処理前後の変色色差ΔE＊abは大きくなる傾向が見られます
O2クリーニング用No.1(高感度タイプ)の変色の温度依存性 の技術データについてご紹介いたします。 いずれも温度が高いほど処理前後の変色色差ΔE＊abは大きくなる 傾向が見られました。 「PLAZMARK O2クリーニング用」は、O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、 NH3などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。 O2ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。 【概要(カード型)】 ■RFプラズマ装置(アリオス株式会社製) ■RF電力：60W ■Arガス流量：40sccm ■到達真空度：5×10^-4Pa ■処理圧：10Pa ■ステージ温度：25～100℃ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ※画像1枚目がカード型、2枚目がラベル型。
- 企業：株式会社サクラクレパス PI事業部
- 価格：応相談
