【大物旋盤加工事例】半導体製造装置部品（シャワープレート）
Φ500のアルミ製品を平面度10ミクロン以内です！
半導体製造装置向け部品です。 材質A6061・Φ500×ｔ15 平面度10μｍ・平行度20μｍにて加工。 表面には幅0.5mmの溝が数十本入っております。 この様な大物の高品質・高精度加工が非常に得意です！ キズはもちろん指紋も一切付けません！ 3次元CAD・CAMを駆使して、高能率・高精度加工を心がけております。 特に、半導体製造装置向け部品加工や、真空装置用チャンバー向け加工を 得意としております。 アルミ・ステンレス・鉄・チタンなどの難削材や、数量・形状・材種問いません。 【特徴】 ■迅速、丁寧、精度良く加工 ■CAD/CAMを駆使し同時5軸加工も可能 ■マシニング・最大ワーク2000mm以上×800mm（幅） ■複合5軸旋盤・最大ワークφ700mm ■半導体製造装置向け部品加工が得意 ■真空装置用チャンバー向け加工可能 ※詳しくはPDF資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社深田工業
- 価格：応相談
