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光学分解能「1.8μｍ」で、非常に高精細な検査が可能です。 寸法測定にも対応でき、二次元の打ち抜き加工品などの検査もできます。
高解像度カメラと高精度X-Yステージを用いた二次元の検査装置です。 光学フィルム、シートやタッチパネルなどの表面キズ、異物の検査や欠陥検査に適しています。 光学分解能「1.8μｍ」で、非常に高精細な検査が可能です。 寸法測定にも対応でき、二次元の打ち抜き加工品などの検査もできます。 【特長】 ■検査データと画像を自動で保存 ■カメラ画素数：900万画素 ■高い光学分解能(1.8μm)で微細な検査箇所も綺麗に見える ■タッチパネルの周辺電極、プリント基板の微細配線の断線、短絡の検査に最適 ※詳しくは資料をダウンロード、もしくはお問合せください。
オートローダによる完全自動計測！ウェーハ表層欠陥検査装置
『MO-601HS』は、ウェーハ全面の計測を可能とし、Siウェーハのデバイス 活性層である表層近傍の結晶欠陥を表面上の異物及び表面の荒さ、傷と識別 して検査できるウェーハ表層欠陥検査装置です。 ビュアー機能による欠陥の実画像による確認、並びにレーザマーキング機能 によるTEM観察での欠陥解析が可能。 酸化膜の耐圧と信頼性を非破壊で評価する方法として、アニールウェーハ などの品質維持に活用されています。 【特長】 ■オートローダによる完全自動計測 ■200mm,300mmウェーハ対応 ■高感度：200nmΦの欠陥を検出可能 ■欠陥・異物・ヘイズの全面マップ計測機能 ■計測条件を一定としたラスタースキャン方式 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
水平FFU搭載！高速クリーン検査可能！コンパクト設計のAR膜欠陥検査装置
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の AR膜欠陥検査装置を取扱っています。 『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。 透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで 高速スキャン検査して欠陥検査をします。 【特長および機能】 ■対象基板は最大400mm、透明基板にオートフォーカスで検査 ■検出欠陥：AR膜基盤の白異物(抜け)や黒異物 ■最小検出分解能2.8μm(1.4μm) ■レビュー検査をリモート制御(カメラ/照明/対物変倍/ステージおよびフォーカス) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
３００ｍｍウエハでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能。
【装置概要】 ３００ｍｍウエハでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、 検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。 小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に 赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。 近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や 研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を 高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。 【装置特徴】 自動検査のほか、スタンドアロンタイプもラインナップしており マニュアルでの検査が可能です。任意のスライスレベルを設定出来 ニーズに合った検査が可能です。用途によりソーマーク除去機能も 有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜き出します。 【装置アプリケーション】 ●パターン付きウエハークラック検査 ●ベアウエハークラック検査 ●ウエハーエッジダメージ検査 ●ＢＧ研磨痕の評価 ●スラリーの評価 ●ガラス基盤の応力残り ●ストレスレリーフの評価 ●ＢＧテープのテンション検査 ●化合物ウエハの歪みや傷検査
