欠陥検査装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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欠陥検査装置 - メーカー・企業27社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年03月11日~2026年04月07日
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欠陥検査装置のメーカー・企業ランキング

更新日: 集計期間:2026年03月11日~2026年04月07日
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  1. 株式会社クボタ計装 大阪府/試験・分析・測定
  2. 株式会社アヤハエンジニアリング 本社 滋賀県/試験・分析・測定
  3. 株式会社トミタ 東京都/サービス業
  4. 4 コメットテクノロジーズ・ジャパン株式会社 コメット・エクスロン事業部 神奈川県/試験・分析・測定
  5. 5 日本セミラボ株式会社 新横浜本社 神奈川県/電子部品・半導体

欠陥検査装置の製品ランキング

更新日: 集計期間:2026年03月11日~2026年04月07日
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  1. オフライン検査装置『MICRO ACEシリーズ』 株式会社アヤハエンジニアリング 本社
  2. レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置 株式会社クボタ計装
  3. 材料内部欠陥 検査装置3D VーROX 株式会社トミタ
  4. 4 インライン検査装置『CONTACT ACEシリーズ』 株式会社アヤハエンジニアリング 本社
  5. 4 【半導体向け】Cheetah EVOによる欠陥検出 コメットテクノロジーズ・ジャパン株式会社 コメット・エクスロン事業部

欠陥検査装置の製品一覧

1~30 件を表示 / 全 33 件

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表面キズ、異物の検査や欠陥検査に!微細欠陥検査装置

光学分解能「1.8μm」で、非常に高精細な検査が可能です。 寸法測定にも対応でき、二次元の打ち抜き加工品などの検査もできます。

高解像度カメラと高精度X-Yステージを用いた二次元の検査装置です。 光学フィルム、シートやタッチパネルなどの表面キズ、異物の検査や欠陥検査に適しています。 光学分解能「1.8μm」で、非常に高精細な検査が可能です。 寸法測定にも対応でき、二次元の打ち抜き加工品などの検査もできます。 【特長】 ■検査データと画像を自動で保存 ■カメラ画素数:900万画素 ■高い光学分解能(1.8μm)で微細な検査箇所も綺麗に見える ■タッチパネルの周辺電極、プリント基板の微細配線の断線、短絡の検査に最適 ※詳しくは資料をダウンロード、もしくはお問合せください。

  • 欠陥検査装置
  • 探傷試験
  • 基板検査装置
  • 欠陥検査装置

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画像センサ用途集<樹脂・紙業界編>

ゴムのバンク量測定やパッキンの切欠き位置検出などの用途についてご紹介!

当資料では、樹脂・紙業界における画像センサの用途について まとめてご紹介しております。 シートの欠陥検査や樹脂塗装品の傷・欠け検査、樹脂キャップのズレ検出、 汚れ・ゴミ・ピンホール検出、樹脂キャップのコゲ検出、携帯電話の 2度塗り防止、成型品の型残り検出など、多数の情報を掲載。 また、検査を成功に導くトータルラインアップや、画像処理用の 周辺機器についても掲載されております。ぜひご活用ください。 【掲載内容(一部)】 ■シートの欠陥検査 ■樹脂塗装品の傷・欠け検査 ■樹脂キャップのズレ検出 ■汚れ・ゴミ・ピンホール検出 ■樹脂キャップのコゲ検出 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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『共同企画型製品シリーズ』

「お客様の専門知識」×「当社の技術力」で「求めていた1台!」を実現!

アヤハエンジニアリングでは『共同企画型製品シリーズ』として、 欠陥検出に関する多種多様なご要望にお答えするために、お客様の 専門知識と当社の技術力で新たな商品開発を行っております。 フィルム・シート・ウェブ検査から、不織布・電極シート・銅板・鋼板・ 金属箔検査まで、お客様の製品サイズや加工ライン、検出欠陥に合わせた さまざまな欠陥検査装置・表面検査装置・マーキング装置をご提案いたします。 特殊なワークや、これまでにない検査方法にも全力で取り組み、 皆様の「こんな1台が欲しかった!」を実現します。 【こんなご要望にお答えします!】 ■繊維検査機や織物検査機がほしい ■カラー検査がしたい ■独自の検査ノウハウをシステム化したい ■複雑な装置は使いづらい ■多様なアルゴリズムを使った研究をしたい ※詳しくはお問い合わせ下さい。

  • その他検査機器・装置
  • 欠陥検査装置

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インライン検査装置『CONTACT ACEシリーズ』

スリット位置に自動でマスク設定!検査の手間を削減する接写型表面欠陥検査装置!

『CONTACT ACEシリーズ』は、反射光学系/透過光学系対応の インライン検査装置です。 同シリーズ製品「CONTACT FILM」は、接写型の表面欠陥検査装置で、 専用ソフトによりスリットの位置に自動でマスク設定(最大48ヶ所)が可能。 検査の手間を大幅に削減できます。 CIS(Contact Image Sensor)の採用により、光学レンズを使用しないため、 視野端と中央でレンズ収差の影響がありません。 【特長(CONTACT FILM)】 ■フィルム・コーティング業界向け ■至近距離から撮像するため、従来のカメラよりも省スペース ■巻き取り直前での検査や、セパレート後の狭小スペースに最適 ■レンズ収差の影響を受けず、視野全域で安定した検査が可能 ■カメラ1台で約2000mmの幅を検査可能 ※詳細につきましては、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他検査機器・装置
  • 欠陥検査装置
  • 欠陥検査装置

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今すぐチェッカー ISC-1

重欠陥になる部品欠陥を発見!!

ボトル容器の中栓抜け等の検査、排出装置

  • その他搬送機械
  • 欠陥検査装置

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内部欠陥検査装置

ガラス、石英、水晶など!透明体の内部欠陥を可視化する内部欠陥検査装置

『内部欠陥検査装置』は、透明な素材や液体の内部欠陥をレーザ光と 特殊光学系で観察、専用画像処理ソフトで欠陥を検出します。 最大サイズは2000×2000×500(高さ)mm、欠陥検出能力は1μm (専用レンズ)~数mmまで可能。 また、透明な素材を切断後精密処理をしたパーツの欠陥検査も超広視野の レーザ走査イメージャで可能です。 【特長】 ■レーザシート光線を用いて専用光学レンズ装置で欠陥を検出 ■最大サイズは2000×2000×500(高さ)mm ■欠陥検出能力は1μm(専用レンズ)~数mmまで可能 ■形は円筒、四角形などがあり、大きなものから小さなものまで対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 欠陥検査装置
  • 欠陥検査装置

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MEMS全自動欠陥検査装置『IR-MEMS100』

コントラストの低い画像を見やすくする処理を使用して見つけにくい欠陥部を検出

『IR-MEMS100』は、ロボットにより自動的に貼り合わせウエハーを 搬送してウエハーの内部状態を特殊赤外線光学系で画像を撮影し、欠陥検出 アルゴリズムを使用して各種欠陥を検出するMEMS全自動欠陥検査装置です。 赤外線顕微鏡にセットした高感度赤外線カメラで画像を撮影し独自の 欠陥検出ソフトウエアにて見えにくい欠陥部を検出します。 【特長】 ■赤外線顕微鏡にセットした高感度赤外線カメラで画像を撮影し独自の  欠陥検出ソフトウエアにて見えにくい欠陥部を検出する ■コントラストの低い画像を見やすくする処理(エフェクト処理)を  使用して見つけにくい欠陥部を検出する ■対応ウエハーサイズは4インチ、6インチ、8インチ ■欠陥検出能力は約10μm ■検査時間は30分/ウエハー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他検査機器・装置
  • 欠陥検査装置
  • 欠陥検査装置

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結晶欠陥検査装置『EnVision』

非破壊/非接触!nmスケールのウェハー内部の拡張欠陥の検出とモニタリングが可能

『En-Vison』は、転位欠陥、酸素析出物、積層欠陥などのウェハー内部の 結晶欠陥を非接触・非破壊で測定・評価ができる結晶欠陥検査装置です。 欠陥サイズ(15nm~サブミクロン)と密度(E6~E10/cm3)の両方で ハイダイナミックレンジを提供。 ウェハー深さ方向の検出感度を大幅に向上させ、幅広い密度とアプリケーションを カバーすることで、表面近傍では確認ができない深さ方向の応力起因転位欠陥の 検出感度を、従来の手法よりも大幅に向上させています。 【特長】 ■非破壊/非接触 ■従来の検査装置では確認できない欠陥を可視化 ■対象領域:活性デバイス領域(表面近傍) ■生シリコンと活性デバイス深さでの検出 ■専門知識は不要 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • その他検査機器・装置
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AR膜欠陥検査装置『EX2001S』

水平FFU搭載!高速クリーン検査可能!コンパクト設計のAR膜欠陥検査装置

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の AR膜欠陥検査装置を取扱っています。 『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。 透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで 高速スキャン検査して欠陥検査をします。 【特長および機能】 ■対象基板は最大400mm、透明基板にオートフォーカスで検査 ■検出欠陥:AR膜基盤の白異物(抜け)や黒異物 ■最小検出分解能2.8μm(1.4μm) ■レビュー検査をリモート制御(カメラ/照明/対物変倍/ステージおよびフォーカス) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他検査機器・装置
  • 欠陥検査装置

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ハードディスク表面欠陥検査装置 Laser Explorer

ハードディスク表面のスクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出

ハードディスク表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。 複数レーザーの同時照射によりスクラッチを高感度で検出するだけでなく、欠陥の凹凸形状を判定します。 特長 ・高出力レーザーによる微小欠陥の検出 ・高いスクラッチ検出能力 ・欠陥の凹凸を弁別 ・全数オートフォーカス ・優れたコストパフォーマンス ・カスタマイズ対応 ・1カセット自動検査対応 ・透明ガラス基板対応

  • その他
  • 欠陥検査装置

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レーザー式ウェハ表面欠陥検査装置 Laser Explorer

透明ウェーハも高速検査!高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出!

『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、 最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。 高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出! ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます! 【その他の特長】 ■高スループット(1カセット25枚を、約40分で検査) ■欠陥の凹凸を弁別 ■全数オートフォーカス ■カスタマイズ対応 ■1カセット自動検査対応 ■欠陥に対する高精度マーキング(オプション) ■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー(オプション)

  • 欠陥検査装置
  • 外観検査装置
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  • 欠陥検査装置

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傷欠陥検査装置『New Wire Inspector』

省スペース・高速高精度・ローコスト!小径パイプ等に適した傷欠陥検査装置

『New Wire Inspector』は、超高速で小径カテーテル等の表面も 対象とした外観検査・傷欠陥検査装置です。 φ0.1の線材の表面のキズ検出や、φ2線材のV溝深さ10μmキズ検出が できるなど、今までの技術では不可能だった傷の検出が可能。 "脱・目視検査"をお考えの方にお勧めする検査装置です。 【特長】 ■φ0.1の線材の表面のキズ検出が可能 ■φ2線材のV溝深さ10μmキズが検出可能 ■材料が振れても検出できる ■1台で全周(360度)の検査が可能 ■材質を問わない ■最速(全周)20m/min 検査速度 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 外観検査装置
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プレス加工品欠陥検査装置『PK2800』

プレス加工ワークを高精度欠陥検査で自動選別!金型交換サイクルを数値で管理!

『PK2800』は、複雑な加工形状ワークに沿った高精度欠陥検査を実現した プレス加工品欠陥検査機です。 レーザセンサによる3D計測・ラインセンサによる2D計測を組み合わせた 計測ユニットにより、プレス打ち抜き時に発生する傷、破断を高精度に 計測し、OK/NG判定します。 カスタマイズ対応で、検査プラス"バリ除去・油洗浄・箱への整列収納"等 ユニット接続で一貫処理も実現します。 【特長】 ■複雑な加工形状ワークに沿った検査も可能 ■法線制御計測(X,Y,θ 3軸制御) ■金型交換サイクルを数値で管理 ■カスタマイズも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ウェーハ表層欠陥検査装置『MO-601HS』

オートローダによる完全自動計測!ウェーハ表層欠陥検査装置

『MO-601HS』は、ウェーハ全面の計測を可能とし、Siウェーハのデバイス 活性層である表層近傍の結晶欠陥を表面上の異物及び表面の荒さ、傷と識別 して検査できるウェーハ表層欠陥検査装置です。 ビュアー機能による欠陥の実画像による確認、並びにレーザマーキング機能 によるTEM観察での欠陥解析が可能。 酸化膜の耐圧と信頼性を非破壊で評価する方法として、アニールウェーハ などの品質維持に活用されています。 【特長】 ■オートローダによる完全自動計測 ■200mm,300mmウェーハ対応 ■高感度:200nmΦの欠陥を検出可能 ■欠陥・異物・ヘイズの全面マップ計測機能 ■計測条件を一定としたラスタースキャン方式 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。

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【三品業界の方へ】無地表面の品質検査装置『Mujiken-Ex』

高速ラインでも欠点を見逃さない!特に三品業界の生産ラインに携わる方は必見の製品です!

『Mujiken-Ex』は、あらゆる生産・加工現場にて高速搬送されるフィルム、紙、金属といった無地素材の表面欠陥(キズ、汚れ、異物など)を検査するシステムです。 化粧品や医薬品に使われる容器、パッケージ、ラベルの素材などの検査にも好適な装置で ウェブ(シート)状であれば被測定物、基材を選ばず 多様な製品の素材表面検査が可能です。 自社開発の検査専用高速処理回路をハードウェア(ボード)化することにより 外観検査の精度は高水準のまま標準機の約2倍の画像処理を実現。 【特長】 ■画像処理:高速化した画像処置機能、豊富なアルゴリズム ■光学系:対応カメラの高速化。長距離・高速通信対応 ■多彩なシステム構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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外観欠陥検査機

L1800カラー汎用機-八面機やE3000カラー専用タイプなど!豊富なラインアップでご紹介

当社で取り扱う、「外観欠陥検査機」をご紹介いたします。 固定形状の検査対象物に特化した専用ソフトウェアが書かれており、 材料変更の設定も簡単かつ迅速に行える「E3000カラー専用タイプ」や クイックチェンジガラスの設計により、平坦度補正なしで3分で変換可能な 「E8000カラー小型専用タイプ」などをラインアップ。 ご要望の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■E3000カラー専用タイプ ■L1800カラー汎用機-八面機 ■E8000カラー小型専用タイプ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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プレス部品欠陥検査装置

フレキシブルな特性があり、様々なプレス部品の種類に適応できます

当社では、先進的なビジョン技術と人工知能アルゴリズムと合わせて 処理・分析をし、効率・正確・全面的な検査を実現できる 『プレス部品欠陥検査装置』を取り使っています。 画像を撮るカメラの位置と姿勢及びオートフォーカス制御アルゴリズムにより、 違うサイズ、違う表面状態、欠陥種類が多いプレス部品の外観検査が可能。 また、高速な撮影技術が一秒当たりに30枚の画像が処理、 コンベアー速度600mm/s、1mm以上の割り有無をオンライン検査できます。 【製品機能の特長】 ■兼用性が強くて便利、安定性が強い ■システムの自己診断機能 ■撮影を触発する正確性 ■リモートデータ監視 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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プレス部品欠陥検査装置

フレキシブルな特性があり、さまざまなプレス部品の種類に適応可能!

先進的なビジョン技術と人工知能アルゴリズムと合わせて処理・分析を し、効率・正確・全面的な検査を実現できる『プレス部品欠陥検査装置』をご紹介いたします。 画像を撮るカメラの位置と姿勢及びオートフォーカス制御アルゴリズムにより、 違うサイズ、違う表面状態、欠陥種類が多いプレス部品の外観検査が可能。 高速な撮影技術が一秒当たりに30枚の画像を処理、コンベアー 速度600mm/s、1mm以上の割り有無をオンライン検査できます。 【特長】 ■兼用性が強くて便利、安定性が強い ■システムの自己診断機能 ■撮影を触発する正確性 ■リモートデータ監視 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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材料内部欠陥 検査装置3D VーROX

アクティブサーモグラフィー検査方法で高速且つ簡単に内部欠陥を判別

測定対象物に熱を加えて熱伝導の変化を赤外線カメラで確認する機器です。 熱源とカメラを一体化した為コンパクト且つ軽量でフィールドサービスやロボットへの搭載も出来る様になりました。 CFRPやハニカム内部構造の不具合をX線検査を使わずに判断する事が出来ます。

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  • 欠陥検査装置

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オフライン検査装置『MICRO ACEシリーズ』

カスタマイズ対応可能!高分解能検査ができるオフライン検査装置をラインアップ

『MICRO ACEシリーズ』は、アヤハエンジニアリングが取扱う オフライン検査装置です。 分解能0.7μ~超高分解能検査が可能な「OMI-UL」は、3D計測器と連携でき、 検査MAPからボタン1つで欠陥の深さを測定することが可能です。 他にも、コンパクトタイプの「OMI-SP」や、10~100μで簡易検査が可能な 「OMI-FE」などをラインアップしています。 【特長】 <OMI-UL> ■分解能0.7μ~超高分解能検査が可能 ■焦点深度が広く欠点の全形撮像が可能、ピントによるバラツキなし ■豊富な光学系の組み合わせと、画像処理による欠点種弁別が可能 ■レーザー顕微鏡(オプション)の3D計測による欠点解析が可能 ■ディスプレイ、電子材料、電池向けなど先端素材の研究開発シーンでも活躍 ※詳しくはお問い合わせ下さい。

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ムラビューワー

ナノクラスの微細な変化も見逃さない!半自動で欠陥を判別して可視化することが可能

『ムラビューワーシリーズ』は検査の常識を変える 「見えない・見えにくい」欠陥を「くっきり・鮮やかに」に 確認できる新感覚のスコープです。 ガラス・水晶・サファイア等の表面に残るナノサイズの微細な 研磨痕・オレンジピール・スクラッチや内部にある微細な 脈理・結晶欠陥等も、目視による検査・評価が可能になり、表面粗さ の管理・研磨条件の設定、蒸着後の歩留まりが確実に向上します。

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ウェハ欠陥検査装置

ウェハ搬送ロボから自動外観検査装置まで、半導体用各種装置をご紹介!

伊藤忠マシンテクノスが取り扱う、アテル株式会社の『ウェハ欠陥検査装置』を ご紹介します。 全ての裏面プロセスを全自動で欠陥検出可能な「ウェハ裏面(表面)専用自動 欠陥検出装置」をはじめ、「ウェハ外観検査マクロミクロ装置」や 「卓上ローダー・ソーター装置」など、多種多様な装置を取り揃えております。 【ウェハ裏面 欠陥検出内容】 ■バックグラインド工程による加工時の欠陥 ■ハンドリング時の欠陥 ■薄型ウェハ、貼り合わせ工程の欠陥 ■ウェハ裏面メタル工程による欠陥 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ガラスエッジ欠陥検査装置※1台のカメラで表、裏、側面の検査が可能

既存ラインに簡単に設置可能!特殊なプリズムを使って1台のカメラでガラスの表面、裏面、側面の検査が可能なガラスエッジ欠陥検査装置

洗浄前のガラス基板のエッジのクラック検出、グラインディング幅、コーナーカット、オリフラカット、チッピングの欠陥検査を行うシステムです。 低コストのガラスエッジ欠陥検査機をご提供致します。 【特徴】 ■既存ラインでも、最少スペースで簡単に設置が可能。 ■800mm/secの取り込み検査が可能。 ■検査結果LOGデータと欠陥画像をリアルタイムに、作成・保存します。 ■LOGデータ、CSV式ファイルとしても保存することも出来ます。 ※詳細はカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせ下さい。 

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不織布向け高速欠陥検査装置

隠れた欠陥もクッキリ!黄色などの薄い色でも検出可能な不織布向け欠陥検査装置

メディア研究所の『不織布向け高速欠陥検査装置』は、メクレ、ショット、 風綿などでお困りの方に最適な、不織布向けの欠陥検査装置です。 多チャンネル光学系による欠陥の複数画像取得技術により、 複数光学系の一体化で、欠陥と地合のメリハリを強調します。 超高速カメラで、高速ラインにも対応するほか、黄色などの薄い色も 検出する技術で、高速性能を維持したままカラー検出が可能になります。 【特長】 ■複数光学系の一体化で、欠陥と地合のメリハリを強調 ■超高速カメラで、高速ラインにも対応 ■黄色などの薄い色も検出 ■黒などの色つき不織布にも効果的 ■地合に隠れた欠陥もくっきり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フィルム欠陥検査装置

300mmウエハでも全視野ワンショット1秒以下で検査可能。

【装置概要】 300mmウエハでも全視野ワンショット1秒以下で検査可能で、 検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。 小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に 赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。 近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、BG 加工の不均一性や 研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を 高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。 【装置特徴】 自動検査のほか、スタンドアロンタイプもラインナップしており マニュアルでの検査が可能です。任意のスライスレベルを設定出来 ニーズに合った検査が可能です。用途によりソーマーク除去機能も 有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜き出します。 【装置アプリケーション】 ●パターン付きウエハークラック検査 ●ベアウエハークラック検査 ●ウエハーエッジダメージ検査 ●BG研磨痕の評価 ●スラリーの評価 ●ガラス基盤の応力残り ●ストレスレリーフの評価 ●BGテープのテンション検査 ●化合物ウエハの歪みや傷検査

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円筒内面欠陥検査装置

穴検査〔巣穴・キズ・目視検査を自動化!〕 自動車部品メーカー&精密測定機メーカーの日本電産トーソクが提案します

鋳造加工品の研削加工面巣穴・キズを非接触で自動検査し、巣穴の大きさを定量検査可能

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レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置

レビュー用顕微鏡搭載!検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です

高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査(約181秒/12inch) ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能 ・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能

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顕微鏡式ウェハ表面欠陥検査装置

透明素材にも対応する高精度検査装置

微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能 ・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能 ・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に  観察、欠陥アルバムの作成が可能。 ・結晶欠陥の検出機能を開発中

  • 半導体検査/試験装置
  • 欠陥検査装置

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チップ素子欠陥検査機

高精度なXYZオートステージです。

ウエハー上のチップ素子欠陥を自動検査します。 顕微鏡カラーカメラとオートステージをシステム制御してチップ素子単位での欠陥識別検査を自動でします。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

  • その他顕微鏡・マイクロスコープ
  • その他検査機器・装置
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円筒内面欠陥検査装置

非接触で鋳造加工品の研削加工面巣穴・キズなどを検査できます。

鋳物加工品の研削加工面巣穴・キズを検査する装置で、 円筒内面全域を非接触で自動検査をし、 欠陥発生位置の記録をすることができます。 ワーク本体を傷つけることなく、生産性や品質の向上に役立ちます。

  • 記録計・レコーダ
  • 欠陥検査装置

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