非破壊/非接触！nmスケールのウェハー内部の拡張欠陥の検出とモニタリングが可能
『En-Vison』は、転位欠陥、酸素析出物、積層欠陥などのウェハー内部の 結晶欠陥を非接触・非破壊で測定・評価ができる結晶欠陥検査装置です。 欠陥サイズ（15nm～サブミクロン）と密度（E6～E10/cm3）の両方で ハイダイナミックレンジを提供。 ウェハー深さ方向の検出感度を大幅に向上させ、幅広い密度とアプリケーションを カバーすることで、表面近傍では確認ができない深さ方向の応力起因転位欠陥の 検出感度を、従来の手法よりも大幅に向上させています。 【特長】 ■非破壊/非接触 ■従来の検査装置では確認できない欠陥を可視化 ■対象領域：活性デバイス領域（表面近傍） ■生シリコンと活性デバイス深さでの検出 ■専門知識は不要 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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Semilabは、世界の最先端技術の研究、製造をサポートする総合測定装置メーカーです。 半導体ウェハーからデバイスの検査に、非接触CV測定装置、ライフタイム測定装置、分光エリプソメーター、フォトルミネッセンス、DLTSシステム、シート抵抗測定装置、ナノインデンター、AFMなどを取り扱いしています。 装置の仕様や価格などお気軽にお問合せ下さい。
