デバイス開発やウェーハ洗浄チェックに最適な小型・省スペースの卓上パーティクル検査装置！
ノンパターンウェーハ・基板表面パーティクル検査装置です。 マニュアル搬送の卓上検査装置でスペースを取りません。 ラボや装置横への設置も簡単です。 シリコンだけでなくガラス素材も測定可能です。
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基本情報
検出感度：0.15μm （ベアシリコン） レーザ波長：405nm 対応ウェーハサイズ：２－８インチ、角基板は200mm以内。 外観寸法：(W)548 x (D)672 x (H)1009mm 用力：（電気）100V、（パキューム）-70kPa以下 6mmワンタッチ接手。 ※設置台はお客様でご用意頂きます。 ※操作用ノートＰＣは付属ですが、本体別置きです。
価格情報
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価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途／実績例
ウェーハ・基板洗浄後のパーティクル確認。 プロセス装置チャンバーのコンタミ確認。 成膜処理後の出来栄え確認。 ウェーハ・基板の出荷確認。 ウェーハ・基板の受け入れ検査。
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企業情報
当社は、平成６年に半導体、液晶製造工程での検査及び試験製造装置開発、製造を目的に設立され、現在は半導体用ウェーハ検査装置を中心に事業展開を行っており、幅広いお客様に当社検査装置を導入頂いております。近年は省電力化や次世代通信に対応する化合物ウェーハのパーティクル検査モデルを開発・販売し、次世代半導体検査装置への展開を進めております。今後も魅力ある製品をご提供できるよう努力を続けてまいります。